[发明专利]一种HJT异质结太阳能电池薄膜生产设备及工艺

权利要求书

1.一种HJT异质结太阳能电池薄膜生产设备，其特征在于，包括

正面设备组件，所述正面设备组件包括正面进出口腔与正面传输腔，所述正面传输腔侧面设置有正面i层腔与正面P层腔，所述正面i层腔对太阳能电池片正面进行i层镀膜，所述正面P层腔对太阳能电池片正面进行p层镀膜；

反面设备组件，所述反面设备组件包括反面进出口腔与反面传输腔，所述反面传输腔侧面设置有反面i层腔与反面N层腔，所述反面i层腔对太阳能电池片反面进行i层镀膜，所述反面N层腔对太阳能电池片反面进行N层镀膜；

翻转腔，所述翻转腔将正面传输腔与反面传输腔连接，所述翻转腔内对太阳能电池片进行翻片。

2.根据权利要求1所述的HJT异质结太阳能电池薄膜生产设备，其特征在于，所述正面进出口腔与所述正面传输腔内部相连通，太阳能电池片经正面进出口腔进入正面传输腔内。

3.根据权利要求1所述的HJT异质结太阳能电池薄膜生产设备，其特征在于，所述反面进出口腔与所述反面传输腔内部连通，太阳能电池片经反面进出口腔进入反面传输腔内。

4.根据权利要求1所述的HJT异质结太阳能电池薄膜生产设备，其特征在于，所述正面传输腔与所述反面传输腔内均设置有真空传输手臂，所述真空传输手臂对太阳能电池片进行抓取传输。

5.根据权利要求1所述的HJT异质结太阳能电池薄膜生产设备，其特征在于，所述正面设备组件、反面设备组件以及翻转腔内均为真空环境。

6.一种HJT异质结太阳能电池薄膜生产工艺，应用于权利要求1-5任一所述的HJT异质结太阳能电池薄膜生产设备，其特征在于，包括以下步骤：

S1、将太阳能电池片送入正面进出口腔内，等候加工；

S2、对正面设备组件、反面设备组件以及翻转腔进行全线抽真空，保证各腔室内处于真空状态；

S3、正面传输腔内的真空传输手臂将太阳能电池片依次送入正面i层腔与正面P层腔，对太阳能电池片的正面进行镀膜；

S4、正面传输腔内的真空传输手臂将正面镀膜后的太阳能电池片送入翻转腔内，将处于正面的太阳能电池片翻转为反面；

S5、反面传输腔内的真空传输手臂将处于反面的太阳能电池片依次送入反面i层腔与反面N层腔内，对太阳能电池片的反面进行镀膜；

S6、太阳能电池片反面镀膜完成后，反面传输腔内的真空传输手臂将太阳能电池片传输至反面进出口腔，破真空将太阳能电池片取出即可。