[发明专利]扫描探针显微镜以及控制方法在审
| 申请号： | 202210517615.6 | 申请日： | 2022-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN115407086A | 公开（公告）日： | 2022-11-29 |
| 发明（设计）人： | 平出雅人 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | G01Q10/06 | 分类号： | G01Q10/06 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种扫描探针显微镜以及控制方法。SPM(100)用于测定试样(S)。SPM(100)具备：试样台(14)，其用于配置试样(S)；探针(3)，其以与试样(S)相向的方式配置；微动机构(12)，其通过以使作用于探针(3)与试样(S)之间的原子力成为固定的方式执行反馈控制，来使探针(3)沿着试样(S)的表面相对地移动；以及信息处理装置(20)，在尽管执行了反馈控制但原子力未成为固定的情况下，信息处理装置(20)停止试样(S)的测定。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 探针 显微镜 以及 控制 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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