[发明专利]扫描探针显微镜以及控制方法

说明书

本发明提供一种扫描探针显微镜以及控制方法。SPM(100)用于测定试样(S)。SPM(100)具备：试样台(14)，其用于配置试样(S)；探针(3)，其以与试样(S)相向的方式配置；微动机构(12)，其通过以使作用于探针(3)与试样(S)之间的原子力成为固定的方式执行反馈控制，来使探针(3)沿着试样(S)的表面相对地移动；以及信息处理装置(20)，在尽管执行了反馈控制但原子力未成为固定的情况下，信息处理装置(20)停止试样(S)的测定。

技术领域

本公开涉及一种扫描探针显微镜以及控制方法。

背景技术

以往，提出了一种具备沿着试样的表面进行相对移动的探针的扫描探针显微镜(SPM：Scanning Probe Microscope)。例如，日本特开2021-004859号公报所记载的SPM具备控制装置、用于配置试样的试样台以及沿着该试样的表面进行相对移动的探针。SPM通过沿X轴方向、Y轴方向以及Z轴方向驱动该试样台来测定该试样。另外，控制装置以使作用于探针与试样之间的物理量(例如原子力)成为固定的方式执行反馈控制。

发明内容

在上述的SPM所进行的试样的测定中，存在以下情况：尽管执行了上述的反馈控制，但作用于探针与试样之间的物理量未成为固定。该情况例如是指试样存在大到SPM无法测定的程度的凸部的情况。当在试样存在该凸部的状态下继续进行测定时，可能会产生获取到不准确的测定结果的问题。

本发明是为了解决这样的问题而完成的，其提供一种即使在作用于探针与试样之间的物理量未成为固定的情况下，也减少获取到不准确的测定结果这一情况的技术。

本公开的扫描探针显微镜用于测定试样。扫描探针显微镜具备：试样台，其用于配置试样；探针，其以与试样相向的方式配置；第一驱动机构，其通过以使作用于探针与试样之间的物理量成为固定的方式执行第一控制，来使探针沿着试样的表面相对地移动；以及控制装置，在尽管执行了第一控制但物理量未成为固定的情况下，该控制装置停止试样的测定。

本公开的控制方法是扫描探针显微镜的控制方法。扫描探针显微镜具备：试样台，其用于配置试样；探针，其以与试样相向的方式配置；以及第一驱动机构，其使探针沿着试样的表面相对地移动。控制方法包括：执行使作用于探针与试样之间的物理量成为固定的第一控制；以及，在尽管执行了第一控制但物理量未成为固定的情况下停止试样的测定。

根据与附图关联地进行理解的关于本发明的以下的详细说明，本发明的上述的目的、特征、方面及优点以及其它的目的、特征、方面及优点将变得清楚。

附图说明

图1是概要性地示出实施方式所涉及的SPM的结构的图。

图2是示出信息处理装置的硬件结构例的图。

图3是示出测定范围的一例的图。

图4是信息处理装置的功能框图。

图5是示出对热漂移的产生进行检测的方法的图。

图6是示出在试样存在过大凹凸部的情况下的第二控制的图。

图7是用于说明SPM的动作方法的流程图。

图8是用于说明第三实施方式的SPM的动作方法的流程图。

图9示出显示装置所显示的通知文本的一例。

图10示出显示装置的显示区域所显示的通知文本的一例。

图11是模式的选择画面的一例。

图12是用于说明待机时间的预测方法的图。

图13是用于说明热漂移的图。

图14是用于说明变形例的SPM的动作方法的流程图。