[发明专利]扫描探针显微镜以及控制方法

权利要求书

1.一种扫描探针显微镜，用于测定试样，具备：

试样台，其用于配置所述试样；

探针，其以与所述试样相向的方式配置；

第一驱动机构，其通过以使作用于所述探针与所述试样之间的物理量成为固定的方式执行第一控制，来使所述探针沿着所述试样的表面相对地移动；以及

控制装置，在尽管执行了所述第一控制但所述物理量未成为固定的情况下，所述控制装置停止所述试样的测定。

2.根据权利要求1所述的扫描探针显微镜，其中，

在所述物理量未成为固定的情况下，所述控制装置在停止所述试样的测定之后，执行第二控制，

所述控制装置在执行所述第二控制之后，重新开始所述试样的测定。

3.根据权利要求2所述的扫描探针显微镜，其中，

所述扫描探针显微镜还具备第二驱动机构，所述第二驱动机构执行使所述探针与所述试样台的间隔增大的退避处理，

所述第二控制包括所述退避处理。

4.根据权利要求2或3所述的扫描探针显微镜，其中，

所述第一驱动机构进行如下处理：

根据被施加的电压来驱动所述试样台，

在被施加的电压是零的情况下，将所述试样台驱动到初始位置，所述第二控制包括将施加于所述第一驱动机构的电压设为零的处理。

5.根据权利要求2或3所述的扫描探针显微镜，其中，

所述控制装置进行如下处理：

使所述探针在所述试样的相同的测定路径中在第一方向和第二方向上相对地往复移动，来获取所述试样的测定数据，其中，所述第一方向及所述第二方向与所述试样的高度方向正交，所述第二方向是与该第一方向相反的方向，

对通过所述探针在所述相同的测定路径中在所述第一方向上的移动而获取到的第一测定数据以及通过所述探针在所述相同的测定路径中在所述第二方向上的移动而获取到的第二测定数据进行存储，

在所述物理量未成为固定的情况下，基于所存储的所述第一测定数据和所述第二测定数据来确定所述物理量未成为固定的原因，对能够确定该确定出的所述原因的原因信息进行存储。

6.根据权利要求5所述的扫描探针显微镜，其中，

在所述第一测定数据与使所述第二测定数据的时间序列逆转而得到的数据的一致度为阈值以上的情况下，所述控制装置执行将所述试样的测定范围设定为除去了所述物理量未成为固定的部位的测定范围的控制来作为所述第二控制。

7.根据权利要求6所述的扫描探针显微镜，其中，

所设定的所述测定范围是与所述部位相邻的范围。

8.根据权利要求5所述的扫描探针显微镜，其中，

在所述第一测定数据与使所述第二测定数据的时间序列逆转而得到的数据的一致度小于阈值的情况下，所述控制装置执行在整个预先决定的待机时间内停止所述试样的测定的处理来作为所述第二控制。

9.根据权利要求5所述的扫描探针显微镜，其中，

在所述第一测定数据与使所述第二测定数据的时间序列逆转而得到的数据的一致度小于阈值的情况下，所述控制装置进行如下处理来作为所述第二控制：

基于所述试样的第一测定路径上的所述第一测定数据和所述第二测定数据来计算第一测定差分值，

基于所述试样的第二测定路径上的所述第一测定数据和所述第二测定数据来计算第二测定差分值，

获取从所述探针在所述第一测定路径中的相对的往复移动结束时起至所述探针在所述第二测定路径中的相对的往复移动结束时为止的经过时间，

基于所述第一测定差分值、所述第二测定差分值以及所述经过时间来计算待机时间，

在整个所计算出的所述待机时间内停止所述试样的测定。

10.根据权利要求5所述的扫描探针显微镜，其中，

在未存储所述第一测定数据和所述第二测定数据的情况下，所述控制装置停止所述试样的测定。