[发明专利]一种实现射频功率和能量分布可视化的检测装置及方法有效

专利信息
申请号: 202210498369.4 申请日: 2022-05-09
公开(公告)号: CN114978367B 公开(公告)日: 2023-02-03
发明(设计)人: 刘嫣红;雷登文;郭沁;李星仪;陈怡婷;王梓 申请(专利权)人: 中国农业大学
主分类号: H04B17/15 分类号: H04B17/15;H04B17/10;H04B17/29
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 张影
地址: 100083 北京市海淀*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供了一种实现射频功率和能量分布可视化的检测装置及方法,该检测装置中射频工作区的负极板与正极板组成了射频加热器,正极板与负极板之间的距离发生变化时,射频加热器的功率会随之变化,不同射频功率的射频,会使发光装置发出强度不同的光,图像采集装置采集发光装置的图像,再通过图像处理装置处理该图像,可以得到发光装置发光强弱的信息,根据发光装置发出的光的强弱信息可以获得射频功率以及能量分布。由于该发光装置没有连接任何其他元件,仅仅只是利用射频加热器间的交变电场使发光装置发光,所以检测数据不受其他因素干扰;并且可以根据发光装置的发光强弱来量化射频输出功率,使其准确检测出射频功率和能量分布。
搜索关键词: 一种 实现 射频 功率 能量 分布 可视化 检测 装置 方法
【主权项】:
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