[发明专利]一种实现射频功率和能量分布可视化的检测装置及方法

权利要求书

1.一种实现射频功率和能量分布可视化的检测装置，其特征在于，所述检测装置包括：

腔体，所述腔体包括盖板以及腔身，所述盖板与所述腔身连接；所述腔身包括一个开口，所述盖板用于覆盖所述开口；位于所述盖板几何中心的采集窗口；

位于所述腔体内部的射频工作区以及图像采集区；所述射频工作区包括负极板与正极板，在第一方向上，所述负极板与所述正极板相对设置；所述负极板包括第一区域以及第二区域，所述正极板在所述负极板上的正投影与所述第一区域重合；所述图像采集区位于所述第二区域；所述图像采集区包括发光装置；

位于所述腔体外部的图像采集装置以及图像处理系统；所述图像采集装置通过所述采集窗口采集所述图像采集区的图像；所述图像处理系统与所述图像采集装置通信连接，所述图像处理系统对所述图像采集装置采集的图像进行可视化处理，得到射频功率和能量分布。

2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述发光装置与所述第二区域所在平面平行。

3.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述发光装置为荧光灯。

4.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述图像采集装置包括：

位于所述采集窗口一侧的第一固定座；所述第一固定座与第一支撑杆的第一端连接；

位于所述第一支撑杆的第二端的第二固定座，所述第二固定座与第二支撑杆的第一端连接；所述第二支撑杆垂直于所述采集窗口所在平面；

位于所述第二支撑杆的第二端的第三固定座；所述第三固定座与第三支撑杆的第一端连接；所述第三支撑杆的第二端与采集设备连接；所述第三支撑杆与所述采集窗口所在平面平行。

5.根据权利要求4所述的检测装置，其特征在于，所述第二固定座可以在所述第一支撑杆的杆身方向上移动。

6.根据权利要求4所述的检测装置，其特征在于，所述采集设备的中轴线与所述发光装置所在平面的夹角至少为45°。

7.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括：

位于所述发光装置与所述第二区域之间的黑色绒布；

所述黑色绒布至少覆盖所述第二区域；所述发光装置在所述黑色绒布上的正投影面积小于所述黑色绒布的面积。

8.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述第二区域包括通孔。

9.根据权利要求8所述的检测装置，其特征在于，所述第二区域还包括：

U型卡扣，所述U型卡扣与所述通孔连接，所述U型卡扣用于固定所述发光装置。

10.一种实现射频功率和能量分布可视化的检测方法，基于权利要求1-9任一项所述的检测装置，其特征在于，所述检测方法包括：

对图像采集装置的位置进行调整，且预先设定所述图像采集装置的采集时间；

利用所述图像采集装置采集图像采集区的多个图像，然后将采集到的多个所述图像传输给图像处理系统；

所述图像处理系统对每一个所述图像进行处理，得到射频功率和能量分布。