[发明专利]一种体声波谐振器制作的方法有效
| 申请号： | 202210495592.3 | 申请日： | 2022-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN114598287B | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 深圳新声半导体有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518049 广东省深圳市福田区梅林街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种体声波谐振器制作的方法。所述方法包括在临时底衬的一侧上布设氧化硅层，并在所述氧化硅层上设置带有空腔凸起的压电层；在所述带有空腔凸起的压电层的远离所述临时底衬的一侧表面上形成下电极；在所述下电极上形成具有垂直壁与斜壁结合式空腔结构的体声波谐振结构；去除所述临时底衬和氧化硅层；并在所述压电层的远离下电极的一侧表面上形成上电极及电连结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 声波 谐振器 制作 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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