[发明专利]一种大直径硅片片盒清洗设备在审
| 申请号： | 202210480034.X | 申请日： | 2022-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN114887989A | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 张宏杰 | 申请（专利权）人： | 中环领先半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B9/30;F26B5/04;F26B21/00 |
| 代理公司： | 苏州高专知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32474 | 代理人： | 冷泠 |
| 地址： | 214200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大直径硅片片盒清洗设备，包括输送座，所述输送座的顶部设置有密封罩，所述密封罩内部的一侧设置有纯水预清洗区，所述纯水预清洗区的一侧设置有超声清洗区，所述超声清洗区的内部设置有超声波发生器，所述超声清洗区的一侧设置有最终清洗区，所述纯水预清洗区和最终清洗区的内侧皆设置有喷淋管。该一种大直径硅片片盒清洗设备，在进行日常使用的过程中，可以通过增加多步纯水清洗和超声清洗过程，对颗粒杂质和金属离子进行去除，经过三步热干燥和二步热真空，大大提高了片盒洁净度，同时避免人员烫伤和片盒的二次污染，同时通过旋转架带动片盒进行实时转动，可使清洗的整体更加全面。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 直径 硅片 清洗 设备 | ||
【主权项】：
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