[发明专利]一种AZO靶材的制备方法及其装置有效
| 申请号： | 202210477778.6 | 申请日： | 2022-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN114800130B | 公开（公告）日： | 2023-03-17 |
| 发明（设计）人： | 孔伟华;董冬青;扈百直 | 申请（专利权）人： | 江苏迪丞光电材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B9/06 | 分类号： | B24B9/06;B24B41/02;B24B41/04;B24B47/12;B24B41/06;B24B41/00;B24B1/00;C23C14/34 |
| 代理公司： | 江苏长德知识产权代理有限公司 32478 | 代理人： | 陈飞 |
| 地址： | 221300 江苏省徐州市邳州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种AZO靶材的制备方法及其装置。该AZO靶材的制备装置，包括上置加工架与下置加工架，所述下置加工架连接有输出带体与固定座块，所述固定座块设置于输出带体的上下输送带之间，所述上置加工架的外表面固定连接有连接架，所述连接架固定连接有第一驱动电机与第三驱动电机，所述第一驱动电机的输出端固定连接有伸缩横臂，所述第三驱动电机的驱动端连接有压紧机构，所述伸缩横臂连接有第二驱动电机，所述第二驱动电机的驱动端固定连接有伸缩杆件，所述伸缩杆件的末端固定连接有打磨头；该AZO靶材的制备装置，操作十分方便，使用十分灵活，对待打磨的工件具有较强的稳定性，便于圆形的AZO靶材工件的边缘打磨，制备成本低，便于推广使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 azo 制备 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
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