[发明专利]一种AZO靶材的制备方法及其装置

说明书

本发明涉及一种AZO靶材的制备方法及其装置。该AZO靶材的制备装置，包括上置加工架与下置加工架，所述下置加工架连接有输出带体与固定座块，所述固定座块设置于输出带体的上下输送带之间，所述上置加工架的外表面固定连接有连接架，所述连接架固定连接有第一驱动电机与第三驱动电机，所述第一驱动电机的输出端固定连接有伸缩横臂，所述第三驱动电机的驱动端连接有压紧机构，所述伸缩横臂连接有第二驱动电机，所述第二驱动电机的驱动端固定连接有伸缩杆件，所述伸缩杆件的末端固定连接有打磨头；该AZO靶材的制备装置，操作十分方便，使用十分灵活，对待打磨的工件具有较强的稳定性，便于圆形的AZO靶材工件的边缘打磨，制备成本低，便于推广使用。

技术领域

本发明属于AZO靶材技术领域，具体涉及一种AZO靶材的制备方法及其装置。

背景技术

靶材作为镀膜工艺的原材料，常通过溅射工艺制备薄膜材料。溅射是利用离子源产生的离子，在真空中经过加速聚集，而形成高速度能的离子束流，轰击固体表面，离子和固体表面原子发生动能交换，使固体表面的原子离开固体并沉积在基底表面，被轰击的固体即是制备溅射法沉积薄膜的原材料，称为溅射靶材，或简称靶材。各种类型的溅射薄膜材料无论在半导体集成电路、太阳能光伏、记录介质、平面显示以及工件表面涂层等方面都得到了广泛的应用。

靶材在制备过程中需要进行打磨处理，并且在使用中还需要定期进行打磨处理，现有打磨一般是通过砂纸手动打磨，十分不便，对于圆型靶材的边壁进行打磨更是麻烦。

发明内容

本发明的目的就在于为了解决上述问题而提供一种结构简单，设计合理的AZO靶材的制备装置。

本发明通过以下技术方案来实现上述目的：

一种AZO靶材的制备装置，包括上置加工架与下置加工架，所述下置加工架连接有输出带体与固定座块，所述固定座块设置于输出带体的上下输送带之间，所述上置加工架的外表面固定连接有连接架，所述连接架固定连接有第一驱动电机与第三驱动电机，所述第一驱动电机的输出端固定连接有伸缩横臂，所述第三驱动电机的驱动端连接有压紧机构，所述伸缩横臂连接有第二驱动电机，所述第二驱动电机的驱动端固定连接有伸缩杆件，所述伸缩杆件的末端固定连接有打磨头，所述打磨头环绕预打磨工件的表面打磨。

作为本发明的进一步优化方案，所述压紧机构包括上置管体与下置杆体，所述下置杆体的末端固定连接有压紧件，所述上置管体的内表面与下置杆体的外表面螺纹连接，所述上置管体的内部设置有限制杆，所述限制杆的一端与下置杆体固定连接，所述限制杆的另一端与上置管体的上端内壁固定连接，所述限制杆包括外管与内杆，所述内杆插入于外管内，所述外管与内杆均为方形。

作为本发明的进一步优化方案，所述压紧件包括下置管体，所述下置管体的下端固定连接有压盘件。

作为本发明的进一步优化方案，所述下置管体的内部滑动连接有移动板件，所述移动板件的外壁与下置管体的内壁紧密接触，所述下置管体的内部设置有上置腔体与下置腔体，所述移动板件为上置腔体与下置腔体的分界线，所述上置腔体与外界连通，所述上置腔体内设置有上置弹簧，所述上置弹簧的一端与所述移动板件连接，所述移动板件的下端固定连接有连接杆件，所述连接杆件的末端固定连接有压板。

作为本发明的进一步优化方案，所述压盘件的下端外表面设置有环形的压块，所述压块的数量为若干组，其直径大小不一，且直径最大的压块设置于压盘件的最外沿。

作为本发明的进一步优化方案，除直径最大的压块外，其它所述的压块的表面开设有凹槽。

作为本发明的进一步优化方案，所述压盘件的上沿设置于下置管体的内部，所述下置管体的内壁滑动连接有移动卡件，所述移动卡件的上端固定连接有下置弹簧，所述下置管体的内壁固定连接有横板件，所述横板件的表面镂空，所述下置弹簧的一端与所述横板件固定连接，所述连接杆件贯穿所述横板件。

作为本发明的进一步优化方案，所述移动板件与所述移动卡件之间设置有弹性拉绳。