[发明专利]一种AZO靶材的制备方法及其装置

权利要求书

1.一种AZO靶材的制备装置，其特征在于，包括上置加工架与下置加工架，所述下置加工架连接有输出带体与固定座块，所述固定座块设置于输出带体的上下输送带之间，所述上置加工架的外表面固定连接有连接架，所述连接架固定连接有第一驱动电机与第三驱动电机，所述第一驱动电机的输出端固定连接有伸缩横臂，所述第三驱动电机的驱动端连接有压紧机构，所述伸缩横臂连接有第二驱动电机，所述第二驱动电机的驱动端固定连接有伸缩杆件，所述伸缩杆件的末端固定连接有打磨头，所述打磨头环绕预打磨工件的表面打磨；所述压紧机构包括上置管体与下置杆体，所述下置杆体的末端固定连接有压紧件，所述上置管体的内表面与下置杆体的外表面螺纹连接，所述上置管体的内部设置有限制杆，所述限制杆的一端与下置杆体固定连接，所述限制杆的另一端与上置管体的上端内壁固定连接，所述限制杆包括外管与内杆，所述内杆插入于外管内，所述外管与内杆均为方形；所述压紧件包括下置管体，所述下置管体的下端固定连接有压盘件；所述下置管体的内部滑动连接有移动板件，所述移动板件的外壁与下置管体的内壁紧密接触，所述下置管体的内部设置有上置腔体与下置腔体，所述移动板件为上置腔体与下置腔体的分界线，所述上置腔体与外界连通，所述上置腔体内设置有上置弹簧，所述上置弹簧的一端与所述移动板件连接，所述移动板件的下端固定连接有连接杆件，所述连接杆件的末端固定连接有压板。

2.根据权利要求1所述的一种AZO靶材的制备装置，其特征在于：所述压盘件的下端外表面设置有环形的压块，所述压块的数量为若干组，其直径大小不一，且直径最大的压块设置于压盘件的最外沿。

3.根据权利要求2所述的一种AZO靶材的制备装置，其特征在于：除直径最大的压块外，其它所述的压块的表面开设有凹槽。

4.根据权利要求3所述的一种AZO靶材的制备装置，其特征在于：所述压盘件的上沿设置于下置管体的内部，所述下置管体的内壁滑动连接有移动卡件，所述移动卡件的上端固定连接有下置弹簧，所述下置管体的内壁固定连接有横板件，所述横板件的表面镂空，所述下置弹簧的一端与所述横板件固定连接，所述连接杆件贯穿所述横板件。

5.根据权利要求4所述的一种AZO靶材的制备装置，其特征在于：所述移动板件与所述移动卡件之间设置有弹性拉绳。