[发明专利]接近接触式全自动曝光机有切边晶圆的预对准机构

摘要

本发明提供了一种接近接触式全自动曝光机有切边晶圆的预对准机构，包括晶圆升降组件、晶圆旋转组件、晶圆定心组件。本发明为了晶圆切边确定，在晶圆边缘正上方安装一个显微镜，对实现粗定心真空吸附后升起一个高度，这时显微镜能够清楚观察晶圆边缘的外貌特征，旋转电机旋转带动接片吸盘和晶圆一起旋转，当显微镜观察到晶圆切边时，旋转电机停止旋转，接片吸盘断真空，然后两个夹持气缸运动，对晶圆进行夹持，精密确定晶圆切边的位置，打开接片吸盘真空，真空吸附晶圆，打开夹持机构，接片吸盘上升上极限位置，等待机械手取走定位好的晶圆，效果显著，能够实现晶圆切边精密定位，性能稳定，价格便宜，使用方便，应用范围广。