[发明专利]接近接触式全自动曝光机有切边晶圆的预对准机构

权利要求书

1.一种接近接触式全自动曝光机有切边晶圆的预对准机构，包括晶圆升降组件(40)、晶圆旋转组件(50)、晶圆定心组件(60)、晶圆夹持组件(70)和显微镜(25)，其特征在于：所述晶圆升降组件(40)包括下底板(1)、电机座(2)、升降电机(3)、第一齿形带轮(4)、齿形带(5)、第二齿形带轮(6)、丝杠支撑座(7)、丝杠(8)、导轨底板(9)、丝杠母(11)、导轨滑块副(12)、连接块(13)、丝杠支座(16)；

所述下底板(1)的上表面开设有方形通孔(34)，所述方形通孔(34)的内侧壁贴合于所述升降电机(3)的外侧壁，所述下底板(1)的下表面安装于所述电机座(2)的上表面，所述的电机座(2)的内侧底壁安装于所述升降电机(3)的下表面，所述升降电机(3)的输出轴贯穿于所述电机座(2)的内侧底壁且安装于所述第一齿形带轮(4)的上表面，所述第一齿形带轮(4)的外侧壁贴合于所述齿形带(5)的内侧壁，所述齿形带(5)的内侧壁贴合于所述第二齿形带轮(6)的外侧壁，所述丝杠(8)的外侧壁通过轴承转动连接于所述丝杠支撑座(7)的内侧壁，所述丝杠支撑座(7)的外侧壁贯穿于所述下底板(1)的上表面，所述丝杠(8)的底端安装于所述第二齿形带轮(6)的上表面，所述下底板(1)的上表面安装于所述导轨底板(9)的下表面，所述导轨底板(9)的上表面安装于所述丝杠支座(16)的下表面，所述丝杠(8)的顶端通过轴承转动连接于所述丝杠支座(16)的下表面，所述丝杠母(11)的内侧壁螺纹连接于所述丝杠(8)的外侧壁，所述丝杠母(11)的外侧壁安装于所述连接块(13)的内侧壁；

所述晶圆升降组件(40)的上表面安装有晶圆旋转组件(50)。

2.根据权利要求1所述的接近接触式全自动曝光机有切边晶圆的预对准机构，其特征在于：所述晶圆旋转组件(50)包括真空接头(10)、连接块(13)、旋转电机(14)、旋转电机支架(15)、接片吸盘(24)；

所述连接块(13)的上表面安装于所述旋转电机支架(15)的下表面，所述旋转电机支架(15)的下表面安装于所述旋转电机(14)的上表面，所述旋转电机(14)的空心输出轴贯穿安装于所述真空接头(10)的一端。

3.根据权利要求1所述的接近接触式全自动曝光机有切边晶圆的预对准机构，其特征在于：所述晶圆旋转组件(50)的上表面安装有晶圆定心组件(60)，所述晶圆定心组件(60)包括支撑方形板(17)、上盖板(18)、定心漏斗(28)；

所述支撑方形板(17)共设置四个，所述下底板(1)的上表面相互对称安装于四个所述支撑方形板(17)的下表面，所述支撑方形板(17)的上表面安装于所述上盖板(18)的下表面，所述上盖板(18)的上表面安装于所述定心漏斗(28)的下表面。

4.根据权利要求3所述的接近接触式全自动曝光机有切边晶圆的预对准机构，其特征在于：所述晶圆旋转组件(50)的上表面安装有晶圆夹持组件(70)，所述晶圆夹持组件(70)包括连接板(19)、气缸(20)、后支撑板(21)、芯轴(22)、定位套(23)、前支撑板(27)、定心漏斗(28)、轴承本体(32)、气缸底板(33)；

所述气缸底板(33)共设置两个，两个所述气缸底板(33)的下表面安装于所述上盖板(18)的上表面，所述气缸底板(33)的上表面安装于所述气缸(20)的下表面，所述气缸(20)的活塞杆安装有两个连接板(19)，两个所述连接板(19)相邻的一侧分别安装于所述后支撑板(21)与所述前支撑板(27)相斥的一侧，所述芯轴(22)共设置四个，所述后支撑板(21)与所述前支撑板(27)的上表面分别对称活动安装于两个所述芯轴(22)的底端，所述芯轴(22)的外侧壁安装有轴承本体(32)，所述定心漏斗(28)的上表面安装于所述定位套(23)的下表面。

5.根据权利要求1所述的接近接触式全自动曝光机有切边晶圆的预对准机构，其特征在于：所述导轨滑块副(12)的导轨安装于所述导轨底板(9)的一侧，所述导轨滑块副(12)的滑块滑动连接于所述连接块(13)的一侧。