[发明专利]一种基于半导体废气处理设备的生产测试平台的测试方法在审
| 申请号： | 202210459332.0 | 申请日： | 2022-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN115016381A | 公开（公告）日： | 2022-09-06 |
| 发明（设计）人： | 王松 | 申请（专利权）人： | 北京京仪自动化装备技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/05 | 分类号： | G05B19/05 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 张建利 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于半导体废气处理设备的生产测试平台的测试方法，涉及半导体废气处理领域，所述测试方法包括以下步骤：所述测试平台控制器向所述设备控制器发送设备运行指令；所述设备控制器控制设备处于点火运行状态；所述测试平台控制器在确定所述设备处于点火运行状态的情况下，向所述设备控制器发送报警指令。本发明实施例提供的基于半导体废气处理设备的生产测试平台的测试方法，可自动进行检测工作，大大节约了人力，完全自动化的检测机制，解决了绝大部分的出厂测试项目，包括软件逻辑纠错、线缆差错等问题，提高了工厂质检效率，并且根据程序流程的执行，准确地完成了工作，改变了原来一直靠人工按步骤进行检测的枯燥乏味工作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 半导体 废气 处理 设备 生产 测试 平台 方法 | ||
【主权项】：
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