[发明专利]一种基于半导体废气处理设备的生产测试平台的测试方法

说明书

本发明提供一种基于半导体废气处理设备的生产测试平台的测试方法，涉及半导体废气处理领域，所述测试方法包括以下步骤：所述测试平台控制器向所述设备控制器发送设备运行指令；所述设备控制器控制设备处于点火运行状态；所述测试平台控制器在确定所述设备处于点火运行状态的情况下，向所述设备控制器发送报警指令。本发明实施例提供的基于半导体废气处理设备的生产测试平台的测试方法，可自动进行检测工作，大大节约了人力，完全自动化的检测机制，解决了绝大部分的出厂测试项目，包括软件逻辑纠错、线缆差错等问题，提高了工厂质检效率，并且根据程序流程的执行，准确地完成了工作，改变了原来一直靠人工按步骤进行检测的枯燥乏味工作。

技术领域

本发明涉及半导体废气处理领域，尤其涉及一种基于半导体废气处理设备的生产测试平台的测试方法。

背景技术

工厂在生产半导体测试设备的过程中，往往会花费很多的时间在产品的出厂测试上，工厂每天质检设备只有3台左右，而且也有人为原因会造成某些功能的漏检。采用人工的质检方式存在时间花费多，工作效率低，且易出现漏检的情况。

发明内容

本发明提供一种基于半导体废气处理设备的生产测试平台的测试方法，用以解决现有的设备测试技术存在效率低和容易出现漏检的问题。

本发明提供一种基于半导体废气处理设备的生产测试平台的测试方法，所述半导体废气处理设备的生产测试平台包括打印机、测试平台交互终端和测试平台控制器，所述测试平台交互终端分别与所述打印机以及所述测试平台控制器连接，所述设备控制器分别与所述设备交互终端以及所述测试平台控制器连接；所述测试方法包括以下步骤：

步骤100，所述测试平台控制器向所述设备控制器发送设备运行指令；

步骤110，所述设备控制器控制设备处于点火运行状态；

步骤120，所述测试平台控制器在确定所述设备处于点火运行状态的情况下，向所述设备控制器发送报警指令；

步骤130，所述设备控制器将所述报警信息发送至所述设备交互终端进行显示，并输出对应的控制信号控制设备的执行器动作；

步骤140，在所述测试平台控制器确定所述设备交互终端显示的报警信息与所述执行器的动作中的至少一个出现错误时，所述测试平台控制器将错误位置信息输出至所述测试平台交互终端进行显示。

根据本发明实施例提供的一种基于半导体废气处理设备的生产测试平台的测试方法，在执行所述步骤100之前还执行以下步骤：

步骤80，所述测试平台控制器向所述设备控制器发送第一指令，所述设备控制器将采样数值上传至所述设备交互终端进行显示；

步骤90，所述测试平台控制器获取所述设备交互终端的显示数据，并将显示数据与所述设备控制器上传的数值进行一一比对，若出现数据对应错误则输出至所述测试平台交互终端进行显示，并通过所述打印机打印输出结果。

根据本发明实施例提供的一种基于半导体废气处理设备的生产测试平台的测试方法，在执行所述步骤80之前还执行以下步骤：

步骤60，所述测试平台控制器向所述设备交互终端发送第二指令，所述设备交互终端将存储的设定值下传至所述设备控制器；

步骤70，所述测试平台控制器将所述设备交互终端下传的所述设定值与所述设备控制器接收的数据进行一一比对，若出现数据对应错误则输出至所述测试平台交互终端进行显示，并通过所述打印机打印输出结果。

根据本发明实施例提供的一种基于半导体废气处理设备的生产测试平台的测试方法，在执行所述步骤140之后还执行以下步骤：

步骤150，所述测试平台控制器向所述设备控制器发送功能测试指令；