[发明专利]一种基于半导体废气处理设备的生产测试平台的测试方法

权利要求书

1.一种基于半导体废气处理设备的生产测试平台的测试方法，所述半导体废气处理设备的生产测试平台包括打印机、测试平台交互终端和测试平台控制器，所述测试平台交互终端分别与所述打印机以及所述测试平台控制器连接，所述设备控制器分别与所述设备交互终端以及所述测试平台控制器连接；其特征在于，所述测试方法包括以下步骤：

步骤100，所述测试平台控制器向所述设备控制器发送设备运行指令；

步骤110，所述设备控制器控制设备处于点火运行状态；

步骤120，所述测试平台控制器在确定所述设备处于点火运行状态的情况下，向所述设备控制器发送报警指令；

步骤130，所述设备控制器将所述报警信息发送至所述设备交互终端进行显示，并输出对应的控制信号控制设备的执行器动作；

步骤140，在所述测试平台控制器确定所述设备交互终端显示的报警信息与所述执行器的动作中的至少一个出现错误时，所述测试平台控制器将错误位置信息输出至所述测试平台交互终端进行显示。

2.根据权利要求1所述的基于半导体废气处理设备的生产测试平台的测试方法，其特征在于，在执行所述步骤100之前还执行以下步骤：

步骤80，所述测试平台控制器向所述设备控制器发送第一指令，所述设备控制器将采样数值上传至所述设备交互终端进行显示；

步骤90，所述测试平台控制器获取所述设备交互终端的显示数据，并将显示数据与所述设备控制器上传的数值进行一一比对，若出现数据对应错误则输出至所述测试平台交互终端进行显示，并通过所述打印机打印输出结果。

3.根据权利要求2所述的基于半导体废气处理设备的生产测试平台的测试方法，其特征在于，在执行所述步骤80之前还执行以下步骤：

步骤60，所述测试平台控制器向所述设备交互终端发送第二指令，所述设备交互终端将存储的设定值下传至所述设备控制器；

步骤70，所述测试平台控制器将所述设备交互终端下传的所述设定值与所述设备控制器接收的数据进行一一比对，若出现数据对应错误则输出至所述测试平台交互终端进行显示，并通过所述打印机打印输出结果。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的基于半导体废气处理设备的生产测试平台的测试方法，其特征在于，在执行所述步骤140之后还执行以下步骤：

步骤150，所述测试平台控制器向所述设备控制器发送功能测试指令；

步骤160，所述测试平台控制器获取所述设备控制器与所述功能测试指令对应的输出信号和输入信号，并确定所述输出信号和所述输入信号分别与所述功能测试指令是否对应；

步骤170，若所述输出信号和所述输入信号中的至少一个与所述功能测试指令不对应，则所述测试平台控制器将错误位置信息输出至所述测试平台交互终端进行显示。

5.根据权利要求4所述的基于半导体废气处理设备的生产测试平台的测试方法，其特征在于，在执行所述步骤150之前还执行以下步骤：

步骤150a，所述测试平台控制器向所述设备控制器发送设备运行指令；

步骤150b，所述设备控制器控制设备处于点火运行状态；

步骤150c，所述测试平台控制器确定所述设备是否处于点火运行状态。

6.根据权利要求5所述的基于半导体废气处理设备的生产测试平台的测试方法，其特征在于，在执行所述步骤170之前还执行以下步骤：

步骤170a，将所述步骤150a至所述步骤160重复执行至少两次。

7.根据权利要求1至3中任意一项所述的基于半导体废气处理设备的生产测试平台的测试方法，其特征在于，所述测试平台控制器和所述设备控制器均为PLC控制器，所述测试平台交互终端与所述设备交互终端均为HMI。

8.根据权利要求1至3中任意一项所述的基于半导体废气处理设备的生产测试平台的测试方法，其特征在于，所述输出信号和所述输入信号可以为模拟信号，也可为数字信号。