[发明专利]阵列基板及其制作方法、显示面板

摘要

本申请公开了一种阵列基板及其制作方法、显示面板，阵列基板包括衬底和有源层；有源层包括沟道部和有源部，有源部包括第一掺杂部和第二掺杂部，第二掺杂部连接第一掺杂部和沟道部，第一掺杂部的离子浓度大于第二掺杂部的离子浓度；以及在衬底至有源层的方向上，第一掺杂部的厚度尺寸大于第二掺杂部的厚度尺寸；本申请通过预先在第一有源层材料中添加离子，以及将第一有源层中第一掺杂部对应的位置的厚度尺寸设置为大于第二掺杂部对应的位置的厚度尺寸，再沉积第二有源层，从而使两层有源层在激光退火中结晶，并且借助第一掺杂部和第二掺杂部的厚度差异形成不同的离子浓度，从而解决了采用高温扩散式掺杂的阵列基板无法实现LDD结构的技术问题。