[发明专利]掩模、掩模组件及显示装置的制造装置在审
| 申请号： | 202210440671.4 | 申请日： | 2022-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN115386829A | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | 白大源;蒋敏智;金宗范 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 习瑞恒;姜长星 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种掩模、掩模组件及显示装置的制造装置。所述掩模包括：沉积图案部，配备有使沉积物质通过的多个沉积孔；虚设图案部，布置在所述沉积图案部的外侧，其中，所述虚设图案部包括具有负泊松比的拉胀结构体。 | ||
| 搜索关键词： | 掩模 模组 显示装置 制造 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三星显示有限公司，未经三星显示有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210440671.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
