[发明专利]掩模、掩模组件及显示装置的制造装置

说明书

本发明公开了一种掩模、掩模组件及显示装置的制造装置。所述掩模包括：沉积图案部，配备有使沉积物质通过的多个沉积孔；虚设图案部，布置在所述沉积图案部的外侧，其中，所述虚设图案部包括具有负泊松比的拉胀结构体。

技术领域

本发明涉及一种掩模、掩模组件及显示装置的制造装置，尤其涉及一种沉积用掩模、包括该沉积用掩模的掩模组件及显示装置的制造装置。

背景技术

随着信息化社会的发展，对用于显示图像的显示装置的要求正以多种形态增加。显示装置领域已迅速变化为取代体积较大的阴极射线管(Cathode Ray Tube)的薄、轻且可实现大面积的平板显示装置(Flat Panel Display Device)。平板显示装置包括液晶显示装置(Liquid Crystal Display Device)、等离子体显示面板(Plasma Display Panel)、有机发光显示装置(Organic Light Emitting Display Device)以及电泳显示装置(Electrophoretic Display Device)等。

在显示装置中，有机发光显示装置包括配备有像素电极、对向电极及发光层的有机发光二极管(OLED：Organic Light Emitting Diode)。此时，所述电极及发光层可以通过多种方法形成，其中一种方法为独立沉积方式。独立沉积方式是将精细金属掩模(FMM：FineMetal Mask)沿长度方向拉伸而紧贴于掩模框架，通过这种掩模的沉积物质沉积于被沉积表面的方式。为了精确的沉积，掩模和掩模框架需要彼此精确地对齐并紧贴。

发明内容

然而，由于掩模具有与其长度和/或宽度相比非常薄的厚度，因此当掩模被拉伸时可能根据内部应力而在掩模形成卷曲(curl)及褶皱等。形成于掩模的卷曲可能妨碍掩模与掩模框架彼此精确地对齐及贴附。并且，形成于掩模的褶皱可能妨碍掩模与掩模框架彼此紧贴。

本发明为了解决包括如上所述的问题在内的多种问题而提出，其目的在于提供一种能够减少卷曲及褶皱等形成在掩模上的情形的掩模、掩模组件及显示装置的制造装置。然而，这些问题是示例性的，本发明的范围不限于此。

根据本发明的一观点，提供一种掩模，包括：沉积图案部，配备有使沉积物质通过的多个沉积孔；虚设图案部，布置在所述沉积图案部的外侧，其中，所述虚设图案部包括具有负泊松比的拉胀结构体。

根据本实施例，所述虚设图案部可以配备有多个虚设孔，所述多个虚设孔在平面上具有与所述沉积图案部的所述多个沉积孔不同的形状。

根据本实施例，所述沉积图案部可以包括具有彼此不同的平面上的形状的第一沉积孔及第二沉积孔，所述第二沉积孔布置为与所述虚设图案部的所述多个虚设孔中的一个虚设孔邻近。

根据本实施例，所述第二沉积孔可以以使所述第二沉积孔与所述一个虚设孔之间的宽度在平面上恒定的方式配备有与所述一个虚设孔的形状对应的形状。

根据本实施例，所述虚设图案部可以在平面上包围整个所述沉积图案部。

根据本实施例，所述虚设图案部可以在平面上部分地包围所述沉积图案部。

根据本实施例，所述沉积图案部可以配备为多个，所述虚设图案部位于平面上彼此相邻的所述沉积图案部之间。

根据本实施例，所述虚设图案部可以在平面上位于所述掩模的与纵向交叉的端部与所述沉积图案部之间。

根据本发明的另一观点，提供一种掩模组件，包括：掩模框架，配备有开口；以及掩模，布置在所述掩模框架上，并且包括以与所述开口重叠的方式布置的沉积图案部以及布置在所述沉积图案部的外侧的虚设图案部，其中，所述虚设图案部包括具有负泊松比的拉胀结构体。

根据本实施例，所述沉积图案部可以配备有多个沉积孔，所述虚设图案部配备有多个虚设孔，所述多个虚设孔在平面上具有与所述沉积图案部的所述多个沉积孔不同的形状。