[发明专利]电子器件内部水汽的离线控制方法在审
| 申请号： | 202210415863.X | 申请日： | 2022-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN114740925A | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 王传伟;李宸宇;张加波;范多宁;彭天礼 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第三十八研究所 |
| 主分类号： | G05D23/30 | 分类号： | G05D23/30 |
| 代理公司： | 北京久诚知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11542 | 代理人： | 翟丽红 |
| 地址： | 230000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种电子器件内部水汽的离线控制方法，涉及电子器件加工领域，包括以下步骤：S1.将待封装的电子器件放入离线独立工作的真空独立烘箱中；S2.设定相关参数，包括一次烘烤温度T、真空度、烘烤时间t、抽充气体次数，对电子器件进行预烘烤；S3.将预烘烤后的电子器件在特定温度下拿出独立烘箱，转入电子器件生产线上的集成烘箱中；S4.设定相关参数，包括二次变温烘烤温度T'、真空度、烘烤时间t'、抽充气体次数，对电子器件进行线上烘烤；S5.将线上烘烤完成的电子器件转入手套箱中完成气密封装。本发明解决了现有技术在线烘烤时间过长、影响产线产品流转的问题，提升了产线生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 电子器件 内部 水汽 离线 控制 方法 | ||
【主权项】：
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