[发明专利]电子器件内部水汽的离线控制方法在审
| 申请号： | 202210415863.X | 申请日： | 2022-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN114740925A | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 王传伟;李宸宇;张加波;范多宁;彭天礼 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第三十八研究所 |
| 主分类号： | G05D23/30 | 分类号： | G05D23/30 |
| 代理公司： | 北京久诚知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11542 | 代理人： | 翟丽红 |
| 地址： | 230000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电子器件 内部 水汽 离线 控制 方法 | ||
1.一种电子器件内部水汽的离线控制方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1.将待封装的电子器件放入离线独立工作的真空独立烘箱中；
S2.设定相关参数，包括一次烘烤温度T、真空度、烘烤时间t、抽充气体次数，对电子器件进行预烘烤；
S3.将预烘烤后的电子器件在特定温度下拿出独立烘箱，转入电子器件生产线上的集成烘箱中；
S4.设定相关参数，包括二次变温烘烤温度T'、真空度、烘烤时间t'、抽充气体次数，对电子器件进行线上烘烤；
S5.将线上烘烤完成的电子器件转入手套箱中完成气密封装。
2.如权利要求1所述的电子器件内部水汽的离线控制方法，其特征在于，所述S1中，每一批次电子器件放置在独立的真空烘箱中进行烘烤，且真空烘箱的数量可根据电子器件的批次数量进行设置。
3.如权利要求1所述的电子器件内部水汽的离线控制方法，其特征在于，所述S2中的一次烘烤温度T为105～180℃，真空度≤10Pa，烘烤时间t为3～72h，抽充气体次数为3～7次。
4.如权利要求1所述的电子器件内部水汽的离线控制方法，其特征在于，所述S3中的特定温度为T+5℃。
5.如权利要求1所述的电子器件内部水汽的离线控制方法，其特征在于，所述S3中，将电子器件从独立烘箱转入集成烘箱的接触空气时间应≤3min。
6.如权利要求1所述的电子器件内部水汽的离线控制方法，其特征在于，所述S4中的T+10℃≤T'≤T+20℃，真空度≤10Pa，烘烤时间t'＝t/6，抽充气体次数为1～3次。
7.如权利要求1所述的电子器件内部水汽的离线控制方法，其特征在于，所述S5中，将电子器件转入手套箱的过程中不得再离线接触空气，必须在保护气气氛中。
8.如权利要求7所述的电子器件内部水汽的离线控制方法，其特征在于，所述保护气为氮气或氩气。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国电子科技集团公司第三十八研究所，未经中国电子科技集团公司第三十八研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202210415863.X/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
