[发明专利]一种电容薄膜真空计有效
| 申请号： | 202210380028.7 | 申请日： | 2022-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN114459670B | 公开（公告）日： | 2022-06-17 |
| 发明（设计）人： | 黄星星;侯少毅;卫红;刘乔;胡强 | 申请（专利权）人： | 季华实验室 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00;G01L19/00;G01L19/14 |
| 代理公司： | 佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙) 44377 | 代理人： | 陈椅行 |
| 地址： | 528200 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及半导体领域，具体而言，涉及一种电容薄膜真空计,其包括：壳体，所述壳体具有一容置腔；弹性膜片，所述弹性膜片将所述容置腔分隔为测量室和参考腔；连接口，所述连接口与所述测量室连通；固定基板，所述固定基板设在所述参考腔中，所述固定基板与所述弹性膜片平行，且在靠近所述弹性膜片一侧设有固定电极；感应膜片，所述感应膜片平行地设置在所述固定电极和所述弹性膜片之间，并通过支架与所述弹性膜片连接；所述支架可在所述弹性膜片变形时带动所述感应膜片靠近或远离所述固定电极移动；从而有效提高电容薄膜真空计的精确度和灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电容 薄膜 真空计 | ||
【主权项】：
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