[发明专利]一种电容薄膜真空计

权利要求书

1.一种电容薄膜真空计，其特征在于，包括：

壳体，所述壳体具有一容置腔；

弹性膜片，所述弹性膜片将所述容置腔分隔为测量室和参考腔；

连接口，所述连接口与所述测量室连通；

固定基板，所述固定基板设在所述参考腔中，所述固定基板与所述弹性膜片平行，且在靠近所述弹性膜片一侧设有固定电极；

感应膜片，所述感应膜片平行地设置在所述固定电极和所述弹性膜片之间，并通过支架与所述弹性膜片连接；所述支架在所述弹性膜片变形时带动所述感应膜片靠近或远离所述固定电极移动；

所述感应膜片不随所述弹性膜片的变形而变形，并随所述弹性膜片的变形而整体地位移，以使所述感应膜片与所述固定电极之间的距离发生均匀变化。

2.根据权利要求1所述的电容薄膜真空计，其特征在于，所述弹性膜片为绝缘材料。

3.根据权利要求1所述的电容薄膜真空计，其特征在于，所述感应膜片、所述弹性膜片和所述固定电极同轴设置。

4.根据权利要求3所述的电容薄膜真空计，其特征在于，所述支架包括多个连接件，所述连接件的两端分别与所述弹性膜片和所述感应膜片固定连接；多个所述连接件沿所述感应膜片的周向排布。

5.根据权利要求4所述的电容薄膜真空计，其特征在于，所述连接件与所述感应膜片的中轴线的径向距离为所述感应膜片的半径的0.2倍-0.7倍。

6.根据权利要求4所述的电容薄膜真空计，其特征在于，所述连接件设置有2个-4个。

7.根据权利要求1所述的电容薄膜真空计，其特征在于，所述连接口与所述测量室连接处设置有挡板，所述挡板上设有多个网状筛孔。

8.根据权利要求1所述的电容薄膜真空计，其特征在于，所述壳体上设有抽气孔，所述抽气孔与所述参考腔连接，并用于与外部的真空泵连接。

9.根据权利要求1所述的电容薄膜真空计，其特征在于，所述壳体上设有吸气装置，所述吸气装置包括与所述参考腔连通的腔体，所述腔体内设有吸气剂。

10.根据权利要求1所述的电容薄膜真空计，其特征在于，还包括引出电极，所述引出电极一端与所述固定电极连接，另一端伸出所述壳体外部。