[发明专利]一种电容薄膜真空计

说明书

本申请涉及半导体领域，具体而言，涉及一种电容薄膜真空计,其包括：壳体，所述壳体具有一容置腔；弹性膜片，所述弹性膜片将所述容置腔分隔为测量室和参考腔；连接口，所述连接口与所述测量室连通；固定基板，所述固定基板设在所述参考腔中，所述固定基板与所述弹性膜片平行，且在靠近所述弹性膜片一侧设有固定电极；感应膜片，所述感应膜片平行地设置在所述固定电极和所述弹性膜片之间，并通过支架与所述弹性膜片连接；所述支架可在所述弹性膜片变形时带动所述感应膜片靠近或远离所述固定电极移动；从而有效提高电容薄膜真空计的精确度和灵敏度。

技术领域

本申请涉及半导体领域，具体而言，涉及一种电容薄膜真空计。

背景技术

在现有技术中，一般的电容式薄膜真空计结构如图2所示，包括第一壳体201；基板202；第一引出电极203；外圈固定电极204；内圈固定电极205；第一感应膜片206；进气管207；待测真空腔208；真空腔209；吸气机构210；抽气口211以及薄膜真空计信号转换电路（图中未画出）。其工作原理：当进气管207与被测对象连接时，待测真空腔208的真空度与被测对象的真空度相同，此时由于真空腔209与待测真空腔208之间产生压差而导致第一感应膜片206产生形变，因此，第一感应膜片206与外圈固定电极204和内圈固定电极205的距离产生变化，进而导致电容变化，转换电路将此电容信号转化为电压或电流信号输出。所以，电容式薄膜真空计是通过形变引起的电容变化来测量被测对象的真空度的，第一感应膜片206的弹性形变能力决定了电容式薄膜真空计的精确度和灵敏度。

由于第一感应膜片206外缘是焊接连接在第一壳体201上，因而当第一感应膜片206产生形变时，不可避免的出现第一感应膜片206的中心形变量大而外缘形变量小的情况，即是第一感应膜片206的中心与内圈固定电极205之间产生形变距离大，而第一感应膜片206的外缘与外圈固定电极204之间产生形变距离小，由于第一感应膜片206的外缘的形变量很小，其输出信号需要通过电路放大才能进行检测，增加电容信号的处理难度，从而影响电容式薄膜真空计精确度和灵敏度。

针对上述问题，目前尚未有有效的技术解决方案。

发明内容

本申请的目的在于提供一种电容薄膜真空计，旨在解决第一感应膜片形变不均匀影响电容式薄膜真空计的精确度和灵敏度的问题。

第一方面，本申请提供了一种电容薄膜真空计，包括：

壳体，所述壳体具有一容置腔；

弹性膜片，所述弹性膜片将所述容置腔分隔为测量室和参考腔；

连接口，所述连接口与所述测量室连通；

固定基板，所述固定基板设在所述参考腔中，所述固定基板与所述弹性膜片平行，且在靠近所述弹性膜片一侧设有固定电极；

感应膜片，所述感应膜片平行地设置在所述固定电极和所述弹性膜片之间，并通过支架与所述弹性膜片连接；所述支架可在所述弹性膜片变形时带动所述感应膜片靠近或远离所述固定电极移动。

本申请提供的电容薄膜真空计，通过设置弹性膜片和支架，使支架的两端分别与弹性膜片和感应膜片连接，当弹性膜片产生形变时，感应膜片通过支架跟随弹性膜片整体地向固定电极靠近移动或者远离移动，使感应膜片始终与固定电极之间相对均匀地发生距离变化，避免出现感应膜片的中心距离变化大而外缘距离变化小的情况，从而提高电容薄膜真空计的精确度和灵敏度。

可选地，所述弹性膜片为绝缘材料。

本申请的弹性膜片为绝缘材料，避免弹性膜片本身在形变时也对固定电极的电容变化产生影响，导致电容薄膜真空计测量产生误差。

可选地，所述感应膜片、所述弹性膜片和所述固定电极同轴设置。