[发明专利]掩模输送装置、成膜装置以及掩模形状检测方法在审
| 申请号： | 202210347026.8 | 申请日： | 2022-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN115287590A | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 中村谕;樽茶友昭;古木聪 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/52;C23C14/54;C23C16/04;C23C16/52;C23C14/24;B65H20/02;H01L51/56 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 邓宗庆 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供能够检测掩模形状的变化的掩模输送装置、成膜装置以及掩模形状检测方法。掩模输送装置的特征在于，具备：输送掩模(7)的第一输送辊(4a)；将由第一输送辊(4a)输送的掩模(7)进一步向下游侧输送的第二输送辊(4b)；检测与第一输送辊(4a)和第二输送辊(4b)的转矩变动相关的值的检测构件；以及基于由所述检测构件检测到的值来检测掩模(7)的形状的掩模形状检测构件。 | ||
| 搜索关键词： | 输送 装置 以及 形状 检测 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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