[发明专利]一种靶材配件的检测装置以及检测方法在审
| 申请号： | 202210345280.4 | 申请日： | 2022-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN115031599A | 公开（公告）日： | 2022-09-09 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;边逸军;陈文庆 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/00 | 分类号： | G01B5/00;G01B5/20;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 韩承志 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种靶材配件的检测装置以及检测方法，所述靶材配件的检测装置包括外观检具以及内孔检具；所述外观检具包括至少一个检测槽，所述检测槽的内壁与靶材配件的外观相匹配，所述靶材配件嵌入设置于所述检测槽内；所述内孔检具包括至少一个插孔件，所述插孔件的外观与靶材配件的内孔结构相匹配，所述插孔件嵌入设置于所述靶材配件的内孔。本发明通过利用外观检具以及内孔检具对靶材配件的外观以及内孔进行检测，观察检具与靶材配件之间的配合程度，从而实现快速检测的效果，具有时间短和效率高等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 配件 检测 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
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