[发明专利]一种靶材配件的检测装置以及检测方法在审
申请号: | 202210345280.4 | 申请日: | 2022-03-31 |
公开(公告)号: | CN115031599A | 公开(公告)日: | 2022-09-09 |
发明(设计)人: | 姚力军;潘杰;王学泽;边逸军;陈文庆 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
主分类号: | G01B5/00 | 分类号: | G01B5/00;G01B5/20;C23C14/34 |
代理公司: | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人: | 韩承志 |
地址: | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 配件 检测 装置 以及 方法 | ||
1.一种靶材配件的检测装置,其特征在于,所述靶材配件的检测装置包括外观检具以及内孔检具;
所述外观检具包括至少一个检测槽,所述检测槽的内壁与靶材配件的外观相匹配,所述靶材配件嵌入设置于所述检测槽内;
所述内孔检具包括至少一个插孔件,所述插孔件的外观与靶材配件的内孔结构相匹配,所述插孔件嵌入设置于所述靶材配件的内孔。
2.根据权利要求1所述的靶材配件的检测装置,其特征在于,所述检测槽的底部设置有顶出孔;
优选地,所述外观检具上设置有至少两个结构不同的检测槽;
优选地,所述内孔检具包括至少两个结构不同的插孔件。
3.根据权利要求1或2所述的靶材配件的检测装置,其特征在于,所述外观检具包括第一检测槽和第二检测槽,所述第一检测槽和第二检测槽分别检测第一靶材配件的外观和第二靶材配件的外观;
所述内孔检具包括第一插孔件和第二插孔件,所述第一插孔件和第二插孔件分别检测第一靶材配件的内孔和第二靶材配件的内孔。
4.根据权利要求3所述的靶材配件的检测装置,其特征在于,所述第一靶材配件呈管状结构,所述第一靶材配件沿长度方向分为第一管段和第二管段,所述第一管段的外径和内径均分别对应大于第二管段的外径和内径,所述第一管段和第二管段之间形成阶梯状结构。
5.根据权利要求4所述的靶材配件的检测装置,其特征在于,所述第一检测槽的内壁呈两级阶梯孔状结构,所述第一检测槽沿长度方向分为第一阶梯段和第二阶梯段,所述第一阶梯段的内径与所述第一管段的外径相同,所述第二阶梯段的内径与所述第二管段的外径相同;
所述第一阶梯段的深度与第一管段的长度相同,所述第二阶梯段的深度与第二管段的长度相同,所述第一靶材配件嵌入所述第一检测槽内,所述第一管段与第一阶梯段嵌合,所述第二管段和第二阶梯段嵌合。
6.根据权利要求3-5任一项所述的靶材配件的检测装置,其特征在于,所述第一插孔件呈棒状结构,所述第一插孔件沿长度方向分为第一嵌入段和第二嵌入段,所述第一嵌入段的外径与第一管段的内径相同,所述第二嵌入段的外径与第二管段的内径相同;
所述第一嵌入段的长度与第一管段的长度相同,所述第二嵌入段的长度与第二管段的长度相同,所述第一插孔件嵌入所述第一靶材配件的内孔中,所述第一嵌入段与第一管段的内孔嵌合,所述第二嵌入段与第二管段的内孔嵌合。
7.根据权利要求3-6任一项所述的靶材配件的检测装置,其特征在于,所述第二靶材配件沿长度方向依次分为第三管段、第四管段和第五管段,所述第三管段和第四管段的内径相同,所述第五管段的内径小于第三管段的内径,所述第三管段、第四管段和第五管段的外径依次减小,所述第三管段的外侧边缘开设有至少一个缺口,所述第四管段的外侧边缘设置有至少一个凸起;
所述第二检测槽的内壁呈三级阶梯孔状结构,沿长度方向依次分为第三阶梯段、第四阶梯段和第五阶梯段,所述第三阶梯段的内径与第三管段的外径相同,所述第三阶梯段的边缘设置有与所述第三管段缺口位置对应的卡合件,所述第四阶梯段的内径与第四管段的外径相同,所述第四阶梯段的边缘设置有与所述第四管段凸起相对应的卡合槽,所述第五阶梯段的内径与第五管段的外径相同。
8.根据权利要求3-7任一项所述的靶材配件的检测装置,其特征在于,所述第二插孔件呈棒状结构,所述第二插孔件沿长度方向分为第三嵌入段和第四嵌入段;
所述第三嵌入段的外径与第三管段的内径相同,所述第三嵌入段的长度等于第三管段和第四管段的长度之和;所述第四嵌入段的外径与第五管段的内径相同,所述第四嵌入段的长度与第五管段的长度相同。
9.一种靶材配件的检测方法,其特征在于,所述检测方法采用权利要求1-8任一项所述的靶材配件的检测装置,所述检测方法包括:
靶材配件放置于检测槽内,并将插孔件放置于靶材配件的内孔中,检测靶材配件、检测槽、插孔件之间的嵌合程度,完成对靶材配件的检测。
10.根据权利要求9所述的检测方法,其特征在于,所述检测方法具体包括以下步骤:
分别将第一靶材配件和第二靶材配件放置于第一检测槽和第二检测槽内,其中,第一靶材配件的第一管段和第二管段分别与第一检测槽的第一阶梯段和第二阶梯段嵌合;第二靶材配件的第三管段、第四管段和第五管段分别与第三阶梯段、第四阶梯段和第五阶梯段嵌合,完成对第一靶材配件和第二靶材配件的外观检测;
分别将第一插孔件和第二插孔件放置于第一靶材配件的内孔和第二靶材配件的内孔,其中,所述第一插孔件的第一嵌入段和第二嵌入段分别与第一靶材配件中第一管段的内孔和第二管段的内孔嵌合;所述第二插孔件的第三嵌入段与所述第二靶材配件中第三管段和第四管段的内孔嵌合,第四嵌入段与第五管段的内孔嵌合,完成对第一靶材配件和第二靶材配件的内孔检测。
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