[发明专利]一种靶材配件的检测装置以及检测方法

说明书

本发明提供了一种靶材配件的检测装置以及检测方法，所述靶材配件的检测装置包括外观检具以及内孔检具；所述外观检具包括至少一个检测槽，所述检测槽的内壁与靶材配件的外观相匹配，所述靶材配件嵌入设置于所述检测槽内；所述内孔检具包括至少一个插孔件，所述插孔件的外观与靶材配件的内孔结构相匹配，所述插孔件嵌入设置于所述靶材配件的内孔。本发明通过利用外观检具以及内孔检具对靶材配件的外观以及内孔进行检测，观察检具与靶材配件之间的配合程度，从而实现快速检测的效果，具有时间短和效率高等特点。

技术领域

本发明属于靶材检测技术领域，涉及一种靶材配件的检测装置以及检测方法。

背景技术

在半导体制程的制造工序中，往往需要形成各种膜层。溅射工艺是半导体制造领域一种广泛使用的成膜工艺。

溅射工艺是物理气相沉积(Physical Vapor Deposition,PVD)中的一种，具体地，利用带电粒子轰击靶材，加速的粒子轰击固体表面时，粒子与固体表面原子发生碰撞，产生能量和动量的转移，使靶材表面原子从靶材表面溢出并沉积在基底表面形成膜层。

溅射工艺在进行过程中，会有反溅射物产生。由于靶材组件中起支撑作用的背板本身具有一定的附着力，所以反溅射物会附着在背板上，形成吸附颗粒物。但是随着工艺不断发展，某些溅射工艺在进行过程中产生的反溅射物比较多，会导致反溅射物无法顺利附着，从而发生吸附颗粒物剥落和尖端放电等问题，严重影响生产过程，导致产品报废。

此外，靶材在使用过程中采用安装配件或辅助配件，例如，为了减少溅射工艺过程中出现吸附颗粒物剥落和尖端放电的问题，在溅射设备中设置有用于在溅射工艺过程中吸附颗粒物的靶材辅助配件。

CN213895982U公开了一种靶材环件安装结构，所述安装结构包括环件本体、环件本体配件、内配合组件、外配合组件、固定件和溅射设备配件，所述溅射设备配件环绕设置于环件本体的外侧，其上设有通孔；内配合组件一端与环件本体配件接触，另一端呈凹陷结构，外配合组件的一端呈凸出结构，所述凸出结构穿过溅射设备配件的通孔与内配合组件中凹陷结构组合；所述内、外配合组件为贯穿空心结构，固定件贯穿内、外配合组件将两者固定。该实用新型通过靶材环件安装结构中内、外配合组件结构的改变，使之能够适用于多种类靶材环件的安装使用，避免因环件尺寸变化而难以安装的问题；所述安装结构改进方式简单，无需进行大的结构变化，成本较低，适用性广。

CN213812764U公开了一种溅射靶材检测装置，包括夹具、间隔夹具设置的圆顶夹具和推动所述圆顶夹具的驱动部，其中在夹具的第一通孔上连通有氦气供给装置，其用于向所述靶材的内部容腔内供给氦气；在所述圆顶夹具上开设的第二通孔上连通有氦气检测装置，其用于抽取圆顶夹具和靶材之间形成的空间内的空气，并检测上述空间内的氦气有无。该实用新型的测试装置通过不使用用于固定靶材和夹具的螺钉，可以防止由于螺钉固定而引起的刮擦；另外，通过用液压缸上下移动圆顶夹具，可以容易且均匀地紧固圆顶夹具，并且通过调节液压压力每次可以容易地获得相同的紧固力。

但是靶材配件数量多，需要的尺寸要求高，因此，如何提供一种靶材检测装置实现快速检测，成为目前迫切需要解决的技术问题。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种靶材配件的检测装置以及检测方法，通过利用外观检具以及内孔检具对靶材配件的外观以及内孔进行检测，观察检具与靶材配件之间的配合程度，从而实现快速检测的效果，具有时间短和效率高等特点。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

第一方面，本发明提供了一种靶材配件的检测装置，所述靶材配件的检测装置包括外观检具以及内孔检具。

所述外观检具包括至少一个检测槽，所述检测槽的内壁与靶材配件的外观相匹配，所述靶材配件嵌入设置于所述检测槽内。