[发明专利]LED和半导体激光器芯片硅片工作台控制方法及装置在审
申请号: | 202210340015.7 | 申请日: | 2022-04-02 |
公开(公告)号: | CN114472188A | 公开(公告)日: | 2022-05-13 |
发明(设计)人: | 陈国强;刘江涛;董月宁 | 申请(专利权)人: | 山东泓瑞光电科技有限公司 |
主分类号: | B07C5/00 | 分类号: | B07C5/00;B07C5/02;B07C5/36 |
代理公司: | 潍坊德信中恒知识产权代理事务所(普通合伙) 37302 | 代理人: | 李娜娟 |
地址: | 261061 山东省潍坊市高新区新城街*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明公开了一种LED和半导体激光器芯片硅片工作台控制方法及装置,涉及机械设备控制技术领域,包括硅片装载步骤、芯片输送步骤和空硅片卸载步骤:所述硅片装载步骤包括如下步骤:S11、移动组件将扩张器移动至装卸载工位;S12、所述扩张器装载硅片;所述芯片输送步骤包括如下步骤:S21、所述移动组件将所述扩张器移动至芯片吸取工位;S22、所述移动组件接收工控机发出的指令,根据所述指令在X轴方向和Y轴方向上移动,将所述硅片上的待吸取芯片送至吸嘴的吸取位;所述空硅片卸载步骤包括如下步骤:S31、所述移动组件将所述扩张器移动至所述装卸载工位;S32、所述扩张器卸载空硅片。 | ||
搜索关键词: | led 半导体激光器 芯片 硅片 工作台 控制 方法 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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