[发明专利]一种去除硅料表面氧化层的清洗方法在审
| 申请号： | 202210335270.2 | 申请日： | 2022-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN114653667A | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 马鑫;马成虎;魏立博 | 申请（专利权）人： | 乌海市晶易硅材料有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/12;B08B3/10;B08B13/00 |
| 代理公司： | 青岛双合知识产权代理事务所(普通合伙) 37342 | 代理人： | 张明利 |
| 地址： | 016000 内蒙古自治区乌海市海勃*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种去除硅料表面氧化层的清洗方法，属于硅料清洗技术配制清洗溶液，并搅拌均匀，将硅料完全置于清洗溶液中浸泡，取出，漂洗，烘干，本发明通过优化清洗溶液的配方及配比，硅料只需浸泡即可去除表面氧化层，操作便捷，耗酸量低且对操作人员技能要求低，不会出现酸印，清洗效果显著。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 去除 表面 氧化 清洗 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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