[发明专利]一种具有监控功能的硅片自动清洗机有效
申请号: | 202210335125.4 | 申请日: | 2022-03-31 |
公开(公告)号: | CN114653705B | 公开(公告)日: | 2023-04-28 |
发明(设计)人: | 孙彬;马伟萍;刘燕;芮芬;乔乐;殷小强 | 申请(专利权)人: | 高景太阳能股份有限公司;青海高景太阳能科技有限公司 |
主分类号: | B08B11/00 | 分类号: | B08B11/00;B08B13/00;B08B3/04 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 卢泽明 |
地址: | 519000 广东省珠海市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开的属于硅片制造技术领域,具体为一种具有监控功能的硅片自动清洗机,包括自动清洗机机体,所述自动清洗机机体的内壁开设有若干清洗槽,所述清洗槽的顶部设有机盖,所述机盖的顶部固定安装把手,所述自动清洗机机体的底部固定安装若干支撑腿,所述自动清洗机机体的底端内壁固定连接若干排液管,且排液管与清洗槽相连接,所述排液管上设有电磁阀,所述清洗槽的底端内壁安装有升降结构,所述自动清洗机机体上设有若干检测结构,且检测结构的一端位于清洗槽的内侧,所述机盖的底部安装有监控结构,本发明可满足自动检测,方便确认清洗品质,能有效提升产品品质,可提升自动化能力,减少人员干预。 | ||
搜索关键词: | 一种 具有 监控 功能 硅片 自动 清洗 | ||
【主权项】:
暂无信息
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