[发明专利]一种具有监控功能的硅片自动清洗机

说明书

本发明公开的属于硅片制造技术领域，具体为一种具有监控功能的硅片自动清洗机，包括自动清洗机机体，所述自动清洗机机体的内壁开设有若干清洗槽，所述清洗槽的顶部设有机盖，所述机盖的顶部固定安装把手，所述自动清洗机机体的底部固定安装若干支撑腿，所述自动清洗机机体的底端内壁固定连接若干排液管，且排液管与清洗槽相连接，所述排液管上设有电磁阀，所述清洗槽的底端内壁安装有升降结构，所述自动清洗机机体上设有若干检测结构，且检测结构的一端位于清洗槽的内侧，所述机盖的底部安装有监控结构，本发明可满足自动检测，方便确认清洗品质，能有效提升产品品质，可提升自动化能力，减少人员干预。

技术领域

本发明涉及硅片制造技术领域，具体为一种具有监控功能的硅片自动清洗机。

背景技术

硅片在经过一系列的加工程序之后需要进行清洗，清洗的目的是要消除吸附在硅片表面的各类污染物，并制作能够减少表面太阳光反射的绒面结构，且清洗的洁净程度直接影响着电池片的成品率和可靠率。硅片的清洗制绒是在清洗机上实现的，清洗机上配置若干工艺槽位，用户手动上料后全过程由机械传动装置完成腐蚀、清洗等工艺过程。

目前硅料清洗主要用清洗机进行清洗，市面上的自动清洗机主要只是一个替代人工清洗动作，而缺少过程监控，这就导致清洗机清洗能力无法进行精细化控制。

为此，我们提出一种具有监控功能的硅片自动清洗机。

发明内容

鉴于上述和/或现有一种具有监控功能的硅片自动清洗机中存在的问题，提出了本发明。

因此，本发明的目的是提供一种具有监控功能的硅片自动清洗机，能够解决上述提出现有的问题。

为解决上述技术问题，根据本发明的一个方面，本发明提供了如下技术方案：

一种具有监控功能的硅片自动清洗机，其包括自动清洗机机体，所述自动清洗机机体的内壁开设有若干清洗槽，所述清洗槽的顶部设有机盖，所述机盖的顶部固定安装把手，所述自动清洗机机体的底部固定安装若干支撑腿，所述自动清洗机机体的底端内壁固定连接若干排液管，且排液管与清洗槽相连接，所述排液管上设有电磁阀，所述清洗槽的底端内壁安装有升降结构，所述自动清洗机机体上设有若干检测结构，且检测结构的一端位于清洗槽的内侧，所述机盖的底部安装有监控结构；

所述监控结构包括左右移动组件、前后移动组件、旋转组件、角度调节组件和监控组件，所述机盖的底部安装左右移动组件，所述左右移动组件上安装前后移动组件，所述前后移动组件上安装旋转组件，所述旋转组件上安装角度调节组件，所述角度调节组件上安装监控组件；

所述监控组件包括摄像头和显示器，所述角度调节组件上安装摄像头，且摄像头与显示器电性连接，所述显示器固定安装在自动清洗机机体上。

作为本发明所述的一种具有监控功能的硅片自动清洗机的一种优选方案，其中：所述检测结构包括温度检测组件、PH检测组件和电导率检测组件，所述温度检测组件、所述PH检测组件和所述电导率检测组件均安装在自动清洗机机体上，且温度检测组件、PH检测组件和电导率检测组件的一端均位于清洗槽的内侧。

作为本发明所述的一种具有监控功能的硅片自动清洗机的一种优选方案，其中：所述温度检测组件包括温度探头和温度检测仪，所述自动清洗机机体的底端内壁固定安装若干温度探头，且温度探头的一端延伸至清洗槽的内侧，所述温度探头与所述温度检测仪电性连接，且温度检测仪固定安装在自动清洗机机体上。

作为本发明所述的一种具有监控功能的硅片自动清洗机的一种优选方案，其中：所述PH检测组件包括PH探头和PH检测仪，所述自动清洗机机体的底端内壁固定安装若干PH探头，且PH探头的一端延伸至清洗槽的内侧，所述PH探头与所述PH检测仪电性连接，且PH检测仪固定安装在自动清洗机机体上。