[发明专利]一种具有监控功能的硅片自动清洗机

权利要求书

1.一种具有监控功能的硅片自动清洗机，包括自动清洗机机体(1)，所述自动清洗机机体(1)的内壁开设有若干清洗槽(15)，所述清洗槽(15)的顶部设有机盖(12)，所述机盖(12)的顶部固定安装把手(13)，所述自动清洗机机体(1)的底部固定安装若干支撑腿(11)，所述自动清洗机机体(1)的底端内壁固定连接若干排液管(14)，且排液管(14)与清洗槽(15)相连接，所述排液管(14)上设有电磁阀，其特征在于，所述清洗槽(15)的底端内壁安装有升降结构，所述自动清洗机机体(1)上设有若干检测结构，且检测结构的一端位于清洗槽(15)的内侧，所述机盖(12)的底部安装有监控结构；

所述监控结构包括左右移动组件、前后移动组件、旋转组件、角度调节组件和监控组件，所述机盖(12)的底部安装左右移动组件，所述左右移动组件上安装前后移动组件，所述前后移动组件上安装旋转组件，所述旋转组件上安装角度调节组件，所述角度调节组件上安装监控组件；

所述左右移动组件包括第一箱体(51)、第一支撑板(53)和第一滑块(56)，所述机盖(12)的底部两端均固定安装第一支撑板(53)，两组所述第一支撑板(53)之间的内壁通过轴承转动连接第一螺杆(54)，所述第一螺杆(54)上螺纹连接第一螺母(55)，所述第一滑块(56)的内壁固定安装第一螺母(55)，所述第一滑块(56)上安装前后移动组件；一组所述第一支撑板(53)上固定安装第一箱体(51)，所述第一箱体(51)的内壁固定安装第一伺服电机(52)，所述第一伺服电机(52)的输出轴与所述第一螺杆(54)固定连接；两组所述第一支撑板(53)之间固定安装第一导向杆(57)，所述第一滑块(56)的顶端内壁滑动连接第一导向杆(57)；

所述监控组件包括摄像头(91)和显示器(92)，所述角度调节组件上安装摄像头(91)，且摄像头(91)与显示器(92)电性连接，所述显示器(92)固定安装在自动清洗机机体(1)上。

2.根据权利要求1所述的一种具有监控功能的硅片自动清洗机，其特征在于，所述检测结构包括温度检测组件、PH检测组件和电导率检测组件，所述温度检测组件、所述PH检测组件和所述电导率检测组件均安装在自动清洗机机体(1)上，且温度检测组件、PH检测组件和电导率检测组件的一端均位于清洗槽(15)的内侧。

3.根据权利要求2所述的一种具有监控功能的硅片自动清洗机，其特征在于，所述温度检测组件包括温度探头(31)和温度检测仪(34)，所述自动清洗机机体(1)的底端内壁固定安装若干温度探头(31)，且温度探头(31)的一端延伸至清洗槽(15)的内侧，所述温度探头(31)与所述温度检测仪(34)电性连接，且温度检测仪(34)固定安装在自动清洗机机体(1)上。

4.根据权利要求2所述的一种具有监控功能的硅片自动清洗机，其特征在于，所述PH检测组件包括PH探头(32)和PH检测仪(35)，所述自动清洗机机体(1)的底端内壁固定安装若干PH探头(32)，且PH探头(32)的一端延伸至清洗槽(15)的内侧，所述PH探头(32)与所述PH检测仪(35)电性连接，且PH检测仪(35)固定安装在自动清洗机机体(1)上。

5.根据权利要求2所述的一种具有监控功能的硅片自动清洗机，其特征在于，所述电导率检测组件包括电导率探头(33)和电导率测定仪(36)，所述自动清洗机机体(1)的底端内壁固定安装若干电导率探头(33)，且电导率探头(33)的一端延伸至清洗槽(15)的内侧，所述电导率探头(33)与所述电导率测定仪(36)电性连接，且电导率测定仪(36)固定安装在自动清洗机机体(1)上。

6.根据权利要求1所述的一种具有监控功能的硅片自动清洗机，其特征在于，所述升降结构包括大盒体(41)，所述清洗槽(15)的底部两端内壁均固定安装大盒体(41)，所述大盒体(41)的内壁固定安装大液压缸(42)，所述大液压缸(42)的输出端通过活塞杆固定安装放置板(43)，且放置板(43)的内壁开设有若干通孔(44)，所述清洗槽(15)的内壁滑动连接放置板(43)。