[发明专利]半导体结构及半导体结构的制备方法、存储器在审
申请号: | 202210325597.1 | 申请日: | 2022-03-29 |
公开(公告)号: | CN114725106A | 公开(公告)日: | 2022-07-08 |
发明(设计)人: | 刘佑铭 | 申请(专利权)人: | 长鑫存储技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/108 | 分类号: | H01L27/108;H01L21/8242 |
代理公司: | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人: | 成丽杰 |
地址: | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本公开实施例涉及一种半导体结构及半导体结构的制备方法、存储器,半导体结构包括:基底;在基底上阵列排布的多个半导体柱组,每个半导体柱组包括相互分立的多个半导体柱,且每个半导体柱具有沟道区以及位于沟道区相对两侧的源漏区;多条位线,每条位线在第一方向上延伸,且与沿第一方向排列的一行半导体柱组的各个半导体柱组中的多个半导体柱的底部源漏区电连接;以及多条字线,每条字线在第二方向延伸,且将沿第二方向排列的一列半导体柱组的各个半导体柱组中的每一沟道区对应的半导体柱侧面包围在内该半导体结构的每个半导体柱组可对应于一个晶体管,由于每个半导体柱组包括相互分立的多个半导体柱,有利于提高该晶体管中沟道的导通能力。 | ||
搜索关键词: | 半导体 结构 制备 方法 存储器 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长鑫存储技术有限公司,未经长鑫存储技术有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202210325597.1/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种楔角晶片的研磨装置及研磨方法
- 下一篇:硅片的湿法蚀刻方法和装置
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的