[发明专利]原子层热电堆热流传感器及制备方法有效
| 申请号： | 202210309485.7 | 申请日： | 2022-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN114910183B | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 黄涛;赵睿鹏;陈曦;谢天;陶伯万 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01K7/02 | 分类号： | G01K7/02;G01K7/22 |
| 代理公司： | 成都惠迪专利事务所(普通合伙) 51215 | 代理人： | 刘勋 |
| 地址： | 610000 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 原子层热电堆热流传感器，属于薄膜热流传感器技术领域。本发明包括内部晶面为倾斜取向的单晶基底和十字形热电堆薄膜，所述十字形热电堆薄膜设置于单晶基底的表面，十字形热电堆薄膜的四条臂与单晶基底的倾斜方向构成正交关系，十字形热电堆薄膜的四个端点各自设置有电极。本发明在ALTP热流传感器测量热流密度的基础上，通过传感器功能层薄膜的电阻用于准确的温度测量，利用对温度的标定获得该温度下传感器的灵敏度，进而获得准确的热流值，显著提升了热流测试精度。 | ||
| 搜索关键词： | 原子 热电 热流 传感器 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于电子科技大学，未经电子科技大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210309485.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
