[发明专利]原子层热电堆热流传感器及制备方法

权利要求书

1.原子层热电堆热流传感器，其特征在于，包括内部晶面为倾斜取向的单晶基底和十字形热电堆薄膜，所述十字形热电堆薄膜设置于单晶基底的表面，十字形热电堆薄膜的四条臂中，两条臂垂直于单晶基底的倾斜方向，另外两条臂平行于单晶基底的倾斜方向；十字形热电堆薄膜的四个端点各自设置有电极。

2.如权利要求1所述的原子层热电堆热流传感器，其特征在于，所述十字形热电堆薄膜的厚度为250nm，长度为10mm，宽度为8mm，臂宽为2mm。

3.原子层热电堆热流传感器的制备方法，其特征在于，包括下述步骤：

1)将功能层薄膜材料沉积到倾斜取向的单晶基底的表面，所述功能层薄膜材料为钇钡铜氧化物或者镧钙锰氧化物；

2)通过光刻工艺将功能层薄膜刻蚀成两根相互垂直的线条状，其中一条沿着基底倾斜方向布置，另一条则垂直于基底倾斜方向布置，形成十字形热电堆薄膜；

3)通过薄膜生长工艺和光刻工艺在功能层薄膜两端覆盖引线金膜电极。

4.如权利要求3所述的原子层热电堆热流传感器的制备方法，其特征在于，所述步骤1)包括：

(1.1)以Y、Gd、Ba、Cu的四甲基庚二酸酯螯合物为溶质，以四氢呋喃为溶剂，配制Y有机源浓度为514mg/20ml，Gd有机源浓度为572mg/,Ba有机源浓度为2395mg/20ml,Cu有机源浓度为1440.6mg/20ml的溶液，形成前驱体溶液；

(1.2)真空条件10pa以下，将倾斜取向的单晶基底表面温度加热至800℃，O₂、Ar₂和N₂O气氛，基底沉积前驱体溶液得到YBCO薄膜；

(1.3)加热温度450℃，氧气气压100000Pa条件下退火。