[发明专利]基于半导体测试参数阈值调整的数据展示方法及装置在审
| 申请号： | 202210300067.1 | 申请日： | 2022-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN114397552A | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 杨文浩;邵康鹏 | 申请（专利权）人： | 杭州广立微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250 | 代理人： | 周长梅 |
| 地址： | 310013 浙江省杭州市西*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请涉及基于半导体测试参数阈值调整的数据展示方法及装置，所述方法包括：响应于用户针对至少一个晶圆所选择的测试参数及所述测试参数对应的第一阈值范围，确定所述至少一个晶圆分别在所述测试参数对应的第一阈值范围内的第一良率数据和/或所述至少一个晶圆分别针对所述测试参数的第一失效数据，所述第一失效数据包括所述至少一个晶圆中由于所述测试参数而失效的裸片的位置；在数据可视化界面中展示所述第一良率数据和/或所述第一失效数据。通过在数据可视化界面中展示用户所选择的阈值范围所对应的良率和/或失效数据，使得用户清晰、直观地了解到所选择的阈值范围对晶圆良率数据和/或失效数据的影响，进而帮助用户选择合适的阈值范围。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 半导体 测试 参数 阈值 调整 数据 展示 方法 装置 | ||
【主权项】：
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