[发明专利]基于半导体测试参数阈值调整的数据展示方法及装置

权利要求书

1.基于半导体测试参数阈值调整的数据展示方法，其特征在于，包括：

响应于用户针对至少一个晶圆所选择的测试参数及所述测试参数对应的第一阈值范围，确定所述至少一个晶圆分别在所述测试参数对应的第一阈值范围内的第一良率数据和/或所述至少一个晶圆分别针对所述测试参数的第一失效数据，所述第一失效数据包括所述至少一个晶圆中由于所述测试参数而失效的裸片的位置；

在数据可视化界面中展示所述第一良率数据和/或所述第一失效数据。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：

响应于用户对所述测试参数的阈值范围的调整，确定所述至少一个晶圆在调整后的第二阈值范围内的第二良率数据和/或所述至少一个晶圆针对所述测试参数的第二失效数据；

在所述数据可视化界面中展示所述第二良率数据和/或所述第二失效数据。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述在所述数据可视化界面中展示所述第二良率数据和/或所述第二失效数据，包括：

在所述数据可视化界面中对比展示所述第二良率数据和至少一个历史良率数据和/或对比展示所述第二失效数据和至少一个历史失效数据，所述至少一个历史良率数据包括所述第一良率数据，所述至少一个历史失效数据包括所述第一失效数据。

4.根据权利要求1-3任一项所述的方法，其特征在于，所述在数据可视化界面中展示所述第一良率数据，包括：

在所述数据可视化界面中的第一显示组件中展示所述至少一个晶圆的良率变化趋势；

和/或，在所述数据可视化界面中的第二显示组件中展示所述至少一个晶圆对应的晶圆良率堆叠图。

5.根据权利要求1-3任一项所述的方法，其特征在于，还包括：

在所述数据可视化界面中的第三显示组件中展示所述至少一个晶圆在所述测试参数维度上对应的测试数据分布图表，并在所述测试数据分布图表中标记所述第一阈值范围的位置。

6.根据权利要求1-3任一项所述的方法，其特征在于，所述在数据可视化界面中展示所述第一失效数据，包括：

在所述数据可视化界面中的第四显示组件中展示所述至少一个晶圆对应的晶圆失效堆叠图，所述晶圆失效堆叠图中失效裸片的位置处设置有标志信息。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，还包括：

在所述晶圆失效堆叠图中展示失效裸片位置处对应的失效裸片堆叠信息。

8.基于半导体测试参数阈值调整的数据展示装置，其特征在于，包括：

良率数据获取模块，用于响应于用户针对至少一个晶圆所选择的测试参数及所述测试参数对应的第一阈值范围，确定所述至少一个晶圆分别在所述测试参数对应的第一阈值范围内的第一良率数据和/或所述至少一个晶圆分别针对所述测试参数的第一失效数据，所述第一失效数据包括所述至少一个晶圆中由于所述测试参数而失效的裸片的位置；

数据展示模块，用于在数据可视化界面中展示所述第一良率数据和/或所述第一失效数据。

9.一种电子设备，其特征在于，包括处理器以及用于存储处理器可执行指令的存储器、显示器，其中，

所述处理器，用于被配置为执行所述指令时实现权利要求1-7中任意一项所述的方法；

所述显示器，用于展示所述数据可视化界面，并在所述数据可视化界面中展示所述第一良率数据和/或所述第一失效数据。

10.一种非易失性计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序指令，其特征在于，所述计算机程序指令被处理器执行时实现权利要求1-7中任意一项所述的方法。

11.一种计算机程序产品，其特征在于，包括计算机可读代码，或者承载有计算机可读代码的非易失性计算机可读存储介质，当所述计算机可读代码在电子设备的处理器中运行时，所述电子设备中的处理器执行上述权利要求1-7中任意一项所述的方法。