[发明专利]TFT基板及其制作方法、液晶显示面板和OLED显示面板在审

专利信息
申请号: 202210256859.3 申请日: 2022-03-16
公开(公告)号: CN114695529A 公开(公告)日: 2022-07-01
发明(设计)人: 李凯宁;杨春柳 申请(专利权)人: TCL华星光电技术有限公司
主分类号: H01L29/417 分类号: H01L29/417;H01L27/12;H01L21/84;H01L27/32;G02F1/1368
代理公司: 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 代理人: 杨瑞
地址: 518132 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 本申请实施例提供一种TFT基板及其制作方法、液晶显示面板和OLED显示面板。本申请实施例提供的TFT基板,通过设置源极和漏极均由导电层蚀刻得到,导电层包括层叠设置的第一金属层和第二金属层,并设置第一金属层的标准电极电位低于第二金属层的标准电极电位,同时将第一金属层的厚度设置为与现有技术相比,大大缩小了第一金属层的厚度,有利于使蚀刻得到的源极和漏极具有较小的Taper角。
搜索关键词: tft 及其 制作方法 液晶显示 面板 oled 显示
【主权项】:
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