[发明专利]一种类金刚石薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 202210246705.6 | 申请日： | 2022-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN114606546A | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 魏利 | 申请（专利权）人： | 苏州科国智新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C25D9/04 | 分类号： | C25D9/04;C25D21/02;C25D21/12 |
| 代理公司： | 盐城海纳川知识产权代理事务所(普通合伙) 32503 | 代理人： | 丁绘燕 |
| 地址： | 215222 江苏省苏州市吴江区盛泽镇西*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种类金刚石薄膜的制备方法，所述类金刚石薄膜的制备方法包括如下步骤：衬底制备，将硅衬底表面利用除垢剂和酒精擦拭，减少硅衬底表面的脏污；置入样品，将处理后的样品和衬底放置在固定架上固定；试剂配制；试剂检验，取出制备容器内部的试剂进行检验，对试剂内部的各离子含量进行检测，对不合格的试剂进行调配；电压辅助；薄膜制备。对台区损耗特征的分析，筛选出主要电参数和非电器特征参数；对衬底和样品进行预处理，减少制备时的干扰，提高制备效果；固定架上可稳定放置衬底和样品，保持衬底和样品的连接，试剂浸没样品，保持制备正常进行；试剂配制时经过检验和调节，保证内部的离子含量，可加速类金刚石薄膜的形成。 | ||
| 搜索关键词： | 种类 金刚石 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
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