[发明专利]一种晶圆片加工清洗液、生产方法及设备在审
| 申请号： | 202210246437.8 | 申请日： | 2022-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN114602351A | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 万小宁 | 申请（专利权）人： | 镌致实业（重庆）有限公司 |
| 主分类号： | B01F27/90 | 分类号： | B01F27/90;B01F35/92;C11D1/83;C11D3/04;C11D3/33;C11D3/36;C11D11/00;B01F101/24 |
| 代理公司： | 重庆弘毅智行专利代理事务所(普通合伙) 50268 | 代理人： | 张庆淡 |
| 地址： | 402660 重庆市潼南区*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明涉及清洗液生产技术领域，具体涉及一种晶圆片加工清洗液、生产方法及设备；包括制备罐和冷却箱，冷却箱包括箱体、换热器和风冷器，风冷器包括风机、冷风管、出风板和单向阀，将清洗液组成原料依次导入制备罐内混合加热制备混合液，混合液导入箱体后，通过换热器吸收混合液热量并与外界空气进行热量交换，同时风机运作往冷风管内吹风，冷风管将风制冷后导入出风板，出风板将冷风吹出对混合液进行风冷散热，通过换热器和风冷器的双重散热，大大的缩短了混合液的冷却时间，从而有效的提高了清洗液的生产效率，解决传统清洗液生产设备生产清洗液，清洗液自然冷却降低生产效率的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆片 加工 清洗 生产 方法 设备 | ||
【主权项】：
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