[发明专利]一种晶圆片加工清洗液、生产方法及设备

说明书

本发明涉及清洗液生产技术领域，具体涉及一种晶圆片加工清洗液、生产方法及设备；包括制备罐和冷却箱，冷却箱包括箱体、换热器和风冷器，风冷器包括风机、冷风管、出风板和单向阀，将清洗液组成原料依次导入制备罐内混合加热制备混合液，混合液导入箱体后，通过换热器吸收混合液热量并与外界空气进行热量交换，同时风机运作往冷风管内吹风，冷风管将风制冷后导入出风板，出风板将冷风吹出对混合液进行风冷散热，通过换热器和风冷器的双重散热，大大的缩短了混合液的冷却时间，从而有效的提高了清洗液的生产效率，解决传统清洗液生产设备生产清洗液，清洗液自然冷却降低生产效率的问题。

技术领域

本发明涉及清洗液生产技术领域，尤其涉及一种晶圆片加工清洗液、生产方法及设备。

背景技术

晶圆片一般指硅晶片，在生产过程中机械设备润滑的油脂、金刚砂或工作液中的金属离子以及硅片与空气接触后形成的氧化物层等均可对硅片造成不同程度的污染，需要使用清洗液清洗。

清洗液的生产是一个复杂的过程，传统清洗液生产设备制备清洗液后，待清洗液自然冷却后导出保存，制备效率较低，不符合企业效益，因此还需要对生产设备进行改进。

发明内容

本发明的目的在于提供一种晶圆片加工清洗液、生产方法及设备，旨在解决传统清洗液生产设备生产清洗液，清洗液自然冷却降低生产效率的问题。

为实现上述目的，第一方面，本发明提供了一种晶圆片加工清洗液生产设备，用于制备一种晶圆片加工清洗液，其特征在于，

包括制备罐和冷却箱，所述冷却箱设置于所述制备罐一侧；

所述冷却箱包括箱体、换热器和风冷器，所述箱体设置于所述制备罐一侧，所述换热器设置于所述箱体一侧，所述风冷器包括风机、冷风管、出风板和单向阀，所述风机与所述箱体固定连接，且位于所述箱体外侧，所述出风板与所述箱体固定连接，且位于所述箱体内，所述冷风管与所述风机连通，并与所述出风板连通，并贯穿所述箱体，所述单向阀设置于所述冷风管靠近所述出风板一侧。

其中，所述换热器包括若干导热柱、散热板和若干散热翅片，所述散热板与所述箱体固定连接，且位于所述箱体顶部，若干所述导热柱分别与所述散热板固定连接，并贯穿所述箱体，若干所述散热翅片分别与所述散热板固定连接，均位于远离所述导热柱一侧。

其中，所述冷却箱还包括第一防尘网和第二防尘网，所述第一防尘网与所述风机固定连接，且位于远离所述冷风管一侧，所述第二防尘网与所述箱体固定连接，且位于靠近所述散热板一侧。

其中，所述制备罐包括罐体、搅拌器和加热组件，所述罐体设置于所述箱体一侧，所述搅拌器设置于所述罐体一侧，所述加热组件分别设置于所述罐体和所述搅拌器一侧。

其中，所述搅拌器包括电机、转杆和若干搅拌杆，所述电机与所述罐体固定连接，且位于所述罐体顶部，所述转杆与所述电机输出端固定连接，并贯穿所述罐体，若干所述搅拌杆分别与所述转杆固定连接，均位于所述转杆外侧。

其中，所述加热组件包括电磁盘和若干发热块，所述电磁盘与所述罐体固定连接，且位于所述罐体底部，若干所述发热块分别与若干所述搅拌杆固定连接，均位于所述搅拌杆外侧。

第二方面，本发明还提供一种晶圆片加工清洗液生产方法，包括以下步骤：

将原料导入制备罐内混合制备，得到混合液；

混合液导入箱体内，经换热器和风冷组件双重散热冷却，得到清洗液。

第三方面，本发明还提供一种晶圆片加工清洗液，

包括氨基三甲叉膦酸60%、磺化琥珀酸二辛酯钠盐6%、氢氟酸5%、AEO-9 3%、乙二胺四乙酸钠6%和纯水20%。