[发明专利]一种晶圆片加工清洗液、生产方法及设备

权利要求书

1.一种晶圆片加工清洗液生产设备，其特征在于，

包括制备罐和冷却箱，所述冷却箱设置于所述制备罐一侧；

所述冷却箱包括箱体、换热器和风冷器，所述箱体设置于所述制备罐一侧，所述换热器设置于所述箱体一侧，所述风冷器包括风机、冷风管、出风板和单向阀，所述风机与所述箱体固定连接，且位于所述箱体外侧，所述出风板与所述箱体固定连接，且位于所述箱体内，所述冷风管与所述风机连通，并与所述出风板连通，并贯穿所述箱体，所述单向阀设置于所述冷风管靠近所述出风板一侧。

2.如权利要求1所述的一种晶圆片加工清洗液生产设备，其特征在于，

所述换热器包括若干导热柱、散热板和若干散热翅片，所述散热板与所述箱体固定连接，且位于所述箱体顶部，若干所述导热柱分别与所述散热板固定连接，并贯穿所述箱体，若干所述散热翅片分别与所述散热板固定连接，均位于远离所述导热柱一侧。

3.如权利要求2所述的一种晶圆片加工清洗液生产设备，其特征在于，

所述冷却箱还包括第一防尘网和第二防尘网，所述第一防尘网与所述风机固定连接，且位于远离所述冷风管一侧，所述第二防尘网与所述箱体固定连接，且位于靠近所述散热板一侧。

4.如权利要求1所述的一种晶圆片加工清洗液生产设备，其特征在于，

所述制备罐包括罐体、搅拌器和加热组件，所述罐体设置于所述箱体一侧，所述搅拌器设置于所述罐体一侧，所述加热组件分别设置于所述罐体和所述搅拌器一侧。

5.如权利要求4所述的一种晶圆片加工清洗液生产设备，其特征在于，

所述搅拌器包括电机、转杆和若干搅拌杆，所述电机与所述罐体固定连接，且位于所述罐体顶部，所述转杆与所述电机输出端固定连接，并贯穿所述罐体，若干所述搅拌杆分别与所述转杆固定连接，均位于所述转杆外侧。

6.如权利要求5所述的一种晶圆片加工清洗液生产设备，其特征在于，

所述加热组件包括电磁盘和若干发热块，所述电磁盘与所述罐体固定连接，且位于所述罐体底部，若干所述发热块分别与若干所述搅拌杆固定连接，均位于所述搅拌杆外侧。

7.一种晶圆片加工清洗液生产方法，采用如权利要求1所述的一种晶圆片加工清洗液生产设备，其特征在于，包括以下步骤：

将原料导入制备罐内混合制备，得到混合液；

混合液导入箱体内，经换热器和风冷组件双重散热冷却，得到清洗液。

8.一种晶圆片加工清洗液，采用如权利要求1所述的一种晶圆片加工清洗液生产设备制备，其特征在于，

包括氨基三甲叉膦酸60%、磺化琥珀酸二辛酯钠盐6%、氢氟酸5%、AEO-9 3%、乙二胺四乙酸钠6%和纯水20%。