[发明专利]一种芯片生产用机械手在审
| 申请号： | 202210231949.7 | 申请日： | 2022-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN114800546A | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 林宜龙;刘飞;黎满标 | 申请（专利权）人： | 深圳格芯集成电路装备有限公司 |
| 主分类号： | B25J11/00 | 分类号： | B25J11/00;B25J15/06;B25J19/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 王泽高 |
| 地址： | 518118 广东省深圳市坪山区龙田街道*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及芯片生产技术领域，公开了一种芯片生产用机械手，包括导向组件和设置在所述导向组件上的驱动机构，所述导向组件包括底板，所述底板上设有导轨，所述导轨上设有多组活动吸嘴组件，所述驱动机构驱动所述活动吸嘴组件沿所述导轨滑动，所述底板上还设有至少一组固定吸嘴组件，所述活动吸嘴组件及所述固定吸嘴组件均包括可升降调节的吸嘴。本发明通过在导轨上设置多组活动吸嘴组件，并通过驱动机构驱动活动吸嘴组件沿导轨滑动，同时设置固定吸嘴组件，使得多组活动吸嘴组件在移动过程中相互之间的间距以及与固定吸嘴组件之间的间距均发生变化，从而一组导轨即可实现机械手在X方向的开合，简化了机械结构。各吸嘴均可单独进行升降调节。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 芯片 生产 机械手 | ||
【主权项】：
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