[发明专利]一种芯片生产用机械手

说明书

本发明涉及芯片生产技术领域，公开了一种芯片生产用机械手，包括导向组件和设置在所述导向组件上的驱动机构，所述导向组件包括底板，所述底板上设有导轨，所述导轨上设有多组活动吸嘴组件，所述驱动机构驱动所述活动吸嘴组件沿所述导轨滑动，所述底板上还设有至少一组固定吸嘴组件，所述活动吸嘴组件及所述固定吸嘴组件均包括可升降调节的吸嘴。本发明通过在导轨上设置多组活动吸嘴组件，并通过驱动机构驱动活动吸嘴组件沿导轨滑动，同时设置固定吸嘴组件，使得多组活动吸嘴组件在移动过程中相互之间的间距以及与固定吸嘴组件之间的间距均发生变化，从而一组导轨即可实现机械手在X方向的开合，简化了机械结构。各吸嘴均可单独进行升降调节。

技术领域

本发明涉及芯片生产技术领域，特别是涉及一种芯片生产用机械手。

背景技术

随着集成电路行业的快速发展，芯片的封装和检测设备需求愈加旺盛。在芯片的生产和检测过程中，经常需要将其从一个位置取放到另一个位置，存在大量的物料取放工作，因此物料取放装置在芯片的自动化设备中是重要的组成部分。

但由于IC芯片行业有各种大小的芯片，因此使用时需要兼容不同规格的料盘。所以IC芯片抓取机械手需要在X方向能开合，即X方向之间的吸嘴间距可变。常见的芯片抓取机械手采用的是多组导轨或导向轮来完成X方向的间距变化。这种方式使用的零部件多，结构复杂，装配难度大，检修困难。另外，目前的吸嘴不能单独进行升降调节，使用效果不佳。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明提供一种芯片生产用机械手，使用一组导轨即可实现机械手在X方向的开合，简化机械结构，同时各吸嘴可单独进行升降调节。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种芯片生产用机械手，包括导向组件和设置在所述导向组件上的驱动机构，所述导向组件包括底板，所述底板上设有导轨，所述导轨上设有多组活动吸嘴组件，所述驱动机构驱动所述活动吸嘴组件沿所述导轨滑动，所述底板上还设有至少一组固定吸嘴组件，所述活动吸嘴组件及所述固定吸嘴组件均包括可升降调节的吸嘴。

优选地，所述驱动机构包括设置在所述导向组件一端的驱动电机，所述驱动电机的输出轴上设有主动带轮，所述导向组件的另一端设有被动带轮，所述主动带轮及所述被动带轮之间连接有同步带，所述活动吸嘴组件固定在所述同步带上。

优选地，所述主动带轮包括同轴设置的第一主动轮和第二主动轮，所述第一主动轮与所述第二主动轮的直径不同，所述被动带轮包括同轴设置的第一被动轮和第二被动轮，所述第一被动轮与所述第二被动轮的直径不同，所述第一主动轮与所述第一被动轮之间连接第一同步带，所述第二主动轮与所述第二被动轮之间连接第二同步带，其中一部分所述活动吸嘴组件连接所述第一同步带，另一部分所述活动吸嘴组件连接所述第二同步带。

优选地，所述第一主动轮与所述第二主动轮的半径之比为1.5:1～2.5:1，所述第一被动轮与所述第二被动轮的半径之比为1.5:1～2.5:1。

优选地，每组所述活动吸嘴组件均包括相对设置的两个活动吸嘴机构，每组所述固定吸嘴组件均包括相对设置的两个固定吸嘴机构。

优选地，所述导轨为相对设置的两个，两个所述导轨之间滑动连接有多个第一连接件，每组所述活动吸嘴组件的两个所述活动吸嘴机构分别设置在所述第一连接件的两端，所述底板的两侧相对设有第二连接件，每个所述固定吸嘴机构固定在一个所述第二连接件上。

优选地，所述导轨上设有滑块，所述第一连接件设置在所述滑块上，所述第一连接件的上端设有用于连接所述驱动机构的固定块。

优选地，所述活动吸嘴机构及所述固定吸嘴机构均包括竖直设置的安装板，所述安装板的上端设有升降电机，所述升降电机的输出轴上设有升降主动轮，所述安装板的下端设有升降被动轮，所述升降主动轮及所述升降被动轮之间连接升降同步带，所述吸嘴设置在所述升降同步带上。