[发明专利]一种芯片生产用机械手

权利要求书

1.一种芯片生产用机械手，其特征在于：包括导向组件和设置在所述导向组件上的驱动机构，所述导向组件包括底板，所述底板上设有导轨，所述导轨上设有多组活动吸嘴组件，所述驱动机构驱动所述活动吸嘴组件沿所述导轨滑动，所述底板上还设有至少一组固定吸嘴组件，所述活动吸嘴组件及所述固定吸嘴组件均包括可升降调节的吸嘴。

2.如权利要求1所述的芯片生产用机械手，其特征在于：所述驱动机构包括设置在所述导向组件一端的驱动电机，所述驱动电机的输出轴上设有主动带轮，所述导向组件的另一端设有被动带轮，所述主动带轮及所述被动带轮之间连接有同步带，所述活动吸嘴组件固定在所述同步带上。

3.如权利要求2所述的芯片生产用机械手，其特征在于：所述主动带轮包括同轴设置的第一主动轮和第二主动轮，所述第一主动轮与所述第二主动轮的直径不同，所述被动带轮包括同轴设置的第一被动轮和第二被动轮，所述第一被动轮与所述第二被动轮的直径不同，所述第一主动轮与所述第一被动轮之间连接第一同步带，所述第二主动轮与所述第二被动轮之间连接第二同步带，其中一部分所述活动吸嘴组件连接所述第一同步带，另一部分所述活动吸嘴组件连接所述第二同步带。

4.如权利要求3所述的芯片生产用机械手，其特征在于：所述第一主动轮与所述第二主动轮的半径之比为1.5:1～2.5:1，所述第一被动轮与所述第二被动轮的半径之比为1.5:1～2.5:1。

5.如权利要求1所述的芯片生产用机械手，其特征在于：每组所述活动吸嘴组件均包括相对设置的两个活动吸嘴机构，每组所述固定吸嘴组件均包括相对设置的两个固定吸嘴机构。

6.如权利要求5所述的芯片生产用机械手，其特征在于：所述导轨为相对设置的两个，两个所述导轨之间滑动连接有多个第一连接件，每组所述活动吸嘴组件的两个所述活动吸嘴机构分别设置在所述第一连接件的两端，所述底板的两侧相对设有第二连接件，每个所述固定吸嘴机构固定在一个所述第二连接件上。

7.如权利要求6所述的芯片生产用机械手，其特征在于：所述导轨上设有滑块，所述第一连接件设置在所述滑块上，所述第一连接件的上端设有用于连接所述驱动机构的固定块。

8.如权利要求5所述的芯片生产用机械手，其特征在于：所述活动吸嘴机构及所述固定吸嘴机构均包括竖直设置的安装板，所述安装板的上端设有升降电机，所述升降电机的输出轴上设有升降主动轮，所述安装板的下端设有升降被动轮，所述升降主动轮及所述升降被动轮之间连接升降同步带，所述吸嘴设置在所述升降同步带上。

9.如权利要求8所述的芯片生产用机械手，其特征在于：所述安装板上设有第一滑轨和第二滑动块，所述第一滑轨上滑动连接有第一滑动块，所述第一滑动块上固设有连接块，所述连接块通过同步带压块连接所述升降同步带，所述第二滑动块上滑动连接有第二滑轨，所述第二滑轨的一端连接所述吸嘴，所述第二滑轨的另一端连接所述连接块。

10.如权利要求9所述的芯片生产用机械手，其特征在于：所述连接块上设有弹簧座，所述弹簧座与所述连接块之间连接有导向轴，所述导向轴上套接有缓冲弹簧，所述第二滑轨的上端设有缓冲连接件，所述缓冲连接件套接在所述导向轴上，并与所述缓冲弹簧的下端抵接。

11.如权利要求10所述的芯片生产用机械手，其特征在于：所述缓冲连接件内设有用于实时反馈所述吸嘴吸取芯片的压力的压力传感器。

12.如权利要求1-11任一项所述的芯片生产用机械手，其特征在于：所述吸嘴上设有加热元件。