[发明专利]微影系统和用于检测微影系统中碎屑的方法在审
| 申请号： | 202210224008.0 | 申请日： | 2022-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN114793381A | 公开（公告）日： | 2022-07-26 |
| 发明（设计）人： | 塗时雨;谢劼;简上傑;陈立锐;刘恒信 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H05G2/00 | 分类号： | H05G2/00;G03F7/20;G01N21/94 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种微影系统和用于检测微影系统中碎屑的方法，极紫外(EUV)微影系统侦测自EUV产生腔室行进至扫描仪的碎屑。微影系统包含侦测光源及感测器。侦测光源输出穿过来自该EUV产生腔室的碎屑粒子行进路径的侦测光。感测器通过侦测碎屑粒子与侦测光的相互作用来感测碎屑粒子。 | ||
| 搜索关键词： | 系统 用于 检测 碎屑 方法 | ||
【主权项】：
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