[发明专利]微影系统和用于检测微影系统中碎屑的方法

权利要求书

1.一种用于检测微影系统中碎屑的方法，其特征在于，包括以下步骤：

通过用一激光照射多个液滴，在一极紫外光产生腔室中自该些液滴产生极紫外光；

将来自该极紫外光产生腔室的该极紫外光引导至一扫描仪；

输出一侦测光；及

基于多个碎屑粒子与该侦测光的相互作用来侦测自该极紫外光产生腔室行进的该些碎屑粒子。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，进一步包括以下步骤：在接合该扫描仪及该极紫外光产生腔室的一孔附近输出该侦测光。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，侦测碎屑的步骤包含以下步骤：响应于该侦测光感测来自该碎屑的多个发射。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，侦测多个碎屑粒子的步骤包含以下步骤：用一光感测器感测该侦测光的一中断。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，进一步包括以下步骤：对已经自该极紫外光产生腔室行进至该扫描仪中的多个碎屑粒子的数目进行计数。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，进一步包括以下步骤：回应于多个碎屑粒子而启动一碎屑移除制程。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，该碎屑移除制程包含以下步骤：使一清洗流体流入该扫描仪。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，进一步包括以下步骤：回应于侦测到多个碎屑粒子而调整多个极紫外光产生参数。

9.一种用于检测微影系统中碎屑的方法，其特征在于，包括以下步骤：

在一极紫外光产生腔室中产生极紫外光；

用该极紫外光对一晶圆执行一微影制程；及

通过在该极紫外光产生腔室的一孔附近发射一侦测光且感测该侦测光与多个碎屑粒子的相互作用来侦测自该极紫外光产生腔室行进的该些碎屑粒子。

10.一种微影系统，其特征在于，包括：

一极紫外光产生腔室；

一极紫外光产生设备，用以在该极紫外光产生腔室中产生极紫外光；

一扫描仪，耦接至该极紫外光产生腔室且用以接收来自该极紫外光产生腔室的该极紫外光；

一侦测光源，用以在一孔附近输出一侦测光；及

一光感测器，用以通过侦测多个碎屑粒子与该侦测光的相互作用来侦测来自该极紫外光产生腔室的该些碎屑粒子。