[发明专利]线栅偏振器的线侧壁保护在审
| 申请号： | 202210219749.X | 申请日： | 2022-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN115079325A | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 卫永毅;R·S·尼尔森 | 申请（专利权）人： | 莫克斯泰克公司 |
| 主分类号： | G02B5/30 | 分类号： | G02B5/30 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 蔡悦 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 线栅偏振器可以在每个线12侧壁SW上具有保护层PL。保护层PL可以保护侧壁SW免受腐蚀、氧化或两者。保护层PL可以不存在于线12的远端DE或在线12的远端DE处更薄，该远端DE是更远离基板11的一端。通过从远端DE去除保护层PL，可以最小化或消除由保护层PL造成的偏振器性能下降。本发明特别适用于具有多个层UL和LL的线栅偏振器，并且在远端DE处的上层UL比嵌入的下层LL更耐腐蚀且更抗氧化。 | ||
| 搜索关键词： | 偏振 侧壁 保护 | ||
【主权项】：
暂无信息
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