[发明专利]线栅偏振器的线侧壁保护

说明书

线栅偏振器可以在每个线12侧壁SW上具有保护层PL。保护层PL可以保护侧壁SW免受腐蚀、氧化或两者。保护层PL可以不存在于线12的远端DE或在线12的远端DE处更薄，该远端DE是更远离基板11的一端。通过从远端DE去除保护层PL，可以最小化或消除由保护层PL造成的偏振器性能下降。本发明特别适用于具有多个层UL和LL的线栅偏振器，并且在远端DE处的上层UL比嵌入的下层LL更耐腐蚀且更抗氧化。

技术领域

本发明大体上涉及线栅偏振器。

背景技术

线栅偏振器可以将光分成两种不同的偏振态。一种偏振态可以主要通过线栅偏振器。另一种偏振态可以主要被吸收或反射。线栅偏振器的有效性或性能基于(a)主要透射偏振态的高透射率(有时称为Tp)和(b)相反偏振态的最小透射率(有时称为Ts)。

具有高对比度(Tp/Ts)可能是有益的。对比度可以通过增加主要透射偏振态的透射率(例如增加Tp)和降低相反偏振态的透射率(例如降低Ts)来改善。

如果将使用反射光束，则具有相反偏振态的高反射率(例如高Rs)可能会有所帮助。对于反射线栅偏振器，效率(Tp*Rs)是线栅偏振器性能的有用指标。如果不使用反射光束并且如果反射光会干扰光学系统，则具有相反偏振态的低反射率(例如低Rs)可能会有所帮助。因此，相反偏振态的反射百分比(Rs)也可以作为偏振器性能的有用指标。

发明内容

线栅偏振器可以包括基板上的线。每条线可以包括更靠近基板的近端和更远离基板的远端。每条线都可以被夹在一对保护层之间。

每条线的远端上的区域可以没有保护层。该区域可以将这对保护层中的每一层保护层彼此分开。

保护层可以包括金属氧化物、氨基膦酸盐或两者。每条线可以具有更靠近近端的下层和更靠近远端的上层。上层可以比下层更耐水腐蚀、抗氧化或两者兼具。基板、一对保护层和上层可以环绕下层。

附图说明(附图并不一定是按照比例绘制的)

图1是在基板11上具有线12的线栅偏振器10的横截面侧视图。每条线12可以具有下层LL和上层UL。保护层PL可以位于每条线12的侧壁SW上。

图2是在基板11上具有线12的线栅偏振器20的横截面侧视图。保护层PL可以位于每条线12的侧壁SW。疏水层HL可以位于线12的远端DE上。

图3是在基板11上具有线12的线栅偏振器30的横截面侧视图。保护层PL可以位于每条线12的侧壁SW上。疏水层HL可以是线12上的保形层。保护层PL可以被夹在疏水层HL和线12之间。

图4是在基板11上具有线12的线栅偏振器40的横截面侧视图。在线12的侧壁SW上的保护层PL比在通道13中的基板11上的保护层PL厚。在线12的侧壁SW上的保护层PL比在远端DE上的保护层PL厚。TPTS且TPTD。

图5是制造线栅偏振器的方法中的步骤50的横截面侧视图，包括在线12上的保形层中施加保护性化学品51。

定义

下列定义(包括其复数形式)在本专利申请全文中适用。

如本文所用，术语“保形层”意指符合特征拓扑轮廓的连续薄膜。例如，整个保形层的最小厚度可以大于1nm，整个保形层的最大厚度可以≤20nm。作为另一个例子，整个保形层上的最大厚度除以整个保形层上的最小厚度可以是≤2、≤3、≤5、≤10或≤20。

如本文所用、“在”、“位于”、和“位于上方”意指直接位于或位于其间具有一些其他固体材料的上方。术语“直接位于”和“邻接”意指直接和紧邻的接触。

具体实施方式